Sistema de metrologia para wafers NanoSpec® II

Disponível nas configurações de mesa e autônomo, o sistema de análise de filmes Nanopsec II fecha o loop entre a atividade de engenharia e pesquisa e o uso final da produção de receitas e algoritmos de análise Visão Geral do Produto Ampliando o alcance e o desempenho da série NanoSpec II, comprovada na indústria, o NanoSpec II introduz um novo design com alinhamento automático de amostras, foco automático rápido e repetibilidade de medição melhor que 1Å*. O sistema pode ser incorporado com o software de análise espectroscópica de refletividade da Onto Innovation, processamento de imagem para alinhamento automático de padrões e várias opções de configuração óptica, tornando o NanoSpec II automatizado o sistema de película fina mais potente da sua classe. O NanoSpec II é totalmente compatível com as placas de material das gerações anteriores de produtos Nanospec. Além disso, muitos modelos de dispersão criados pela elipsômetros Woollam® podem ser importados e utilizados sem conversão. Disponível nas configurações de mesa e autônomo, o Nanopsec II fecha o loop entre a atividade de engenharia e pesquisa e o uso final da produção de receitas e algoritmos de análise. A fácil portabilidade das receitas permite o desenvolvimento de receitas fora da linha de produção sem perturbar o fluxo de produção padrão. Várias opções para análise de dados offline permitem aos engenheiros reprocessar excursões dentro do processo a qualquer momento, mesmo que a amostra original não esteja mais disponível. A óptica foi projetada para fornecer metrologia confiável e robusta, mantendo os esforços de manutenção no mínimo.