Sistema de metrologia para wafers OCD

A tecnologia OCD Solutions optimiza a capacidade total e a conectividade dos sistemas Atlas e IMPULSE para metrologia de dimensão crítica óptica (OCD) Visão Geral do Produto A tecnologia OCD da Onto Innovation oferece uma poderosa modelagem OCD e uma capacidade avançada de aprendizagem da máquina, bem como uma regressão em tempo real da próxima geração, ferramentas de análise de sensibilidade offline e uma GUI abrangente e entrada de estrutura para uma verdadeira modelagem multi-variante. Tanto os pacotes de software Ai Diffract como SpectraProbe oferecem capacidades avançadas em factores de forma de hardware intuitivos e fáceis de implementar. Cada componente estende as capacidades de OCD sem descontinuidades aos sistemas de metrologia integrados Atlas standalone e IMPULSE, desde o apoio e desenvolvimento de receitas offline até à ligação em rede e conectividade fabulosa para uma fácil gestão da frota. Ai Diffract™ Software Software de modelação e análise de OCD guiado por IA para metrologia óptica em linha de alta precisão e desenvolvimento de receitas offline O software Ai Diffract é um poderoso software de modelação, visualização e análise com uma interface intuitiva de modelação 3D para simplificar a construção e visualização dos dispositivos semicondutores mais complexos da actualidade. Os algoritmos de ajuste proprietários do software Ai Diffract permitem cálculos rápidos e precisos para o processamento de sinais para medições baseadas em modelos de alta fidelidade. Características de automação para ajuste espectral, optimização de receitas e análise de sensibilidade oferecem grande produtividade ao utilizador. O primeiro motor do mercado orientado por IA sinergetiza a modelagem baseada na física e a aprendizagem da máquina para fornecer a solução mais robusta com um tempo de solução rápido.