Sistema de metrologia para semicondutores Atlas V

O filme fino Atlas e a série OCD é a ferramenta de metrologia para o FinFET de ponta, o FET de porta a porta (GAA), o NAND 3D, e o fabrico de dispositivos DRAM avançados. O novo sistema de metrologia Atlas V foi concebido para medir vários passos chave que incluem características enterradas, não visíveis pelo CD-SEM e outras técnicas. Através de melhorias notáveis nos sistemas ópticos, sub-sistemas mecânicos e algoritmos de software, o sistema Atlas V pode medir com precisão as variações muito subtis dos parâmetros do dispositivo e revelar os cantos fracos do processo para os engenheiros melhorarem a sua robustez de processo no fabrico. A sensibilidade da metrologia Atlas V permite que estas dimensões críticas sejam medidas com elevada precisão e sensibilidade, ampliando a capacidade das soluções ópticas para gerações de dispositivos e eliminando a necessidade de outras técnicas de controlo de processos mais lentos. A tecnologia Atlas V permite o desempenho necessário para o desenvolvimento de GAA/3D NAND/DRAM por parte dos clientes e é mais de 100 vezes mais rápida que as soluções de raios X para estas estruturas. Os clientes da Onto Innovation validaram esta nova tecnologia OCD e viram a velocidade e a resolução que outrora se pensava estar para além dos limites da tecnologia óptica.