Sistema de metrologia para wafers IVS series

para semicondutores

A série IVS fornece sobreposição óptica e metrologia de CD para os mercados de semicondutores, semicondutores compostos, dispositivos de potência, RF, MEMS, e LED. Os sistemas oferecem um desempenho de medição superior com sobreposição e medições de CD na mesma receita Visão Geral do Produto O sistema IVS 220 é a última geração da série IVS e foi concebido para uma precisão máxima, TIS (tool induced shift) e rendimento em bolachas de 200mm. A pedra angular da fiabilidade e estabilidade do sistema é o seu tempo médio entre falhas (MTBF) de 2.100 horas. O IVS 280 fornece a mesma capacidade num pacote concebido para o manuseamento da via aérea com capacidade total E84 GEM300. A flexibilidade é fundamental em processos de semicondutores compostos onde muitos tamanhos, espessuras e processos diferentes de bolachas podem funcionar na mesma linha. O sistema IVS é ideal para estas condições. O manuseamento versátil das wafer acomoda muitas variações na composição das wafer incluindo silício, carboneto de silício, quartzo, vidro, GaAs, GaN, LiNO3, InP. A série IVS também inclui o sistema IVS 200, que é ideal para fabricas mais pequenas e proporciona a capacidade de actualizar de versões mais antigas da plataforma IVS para as especificações do IVS 200. A série IVS ajuda a assegurar uma disponibilidade óptima do sistema e anos de funcionamento sem problemas. A concepção robusta do sistema de manipulação e navegação das bolachas não requer assistência do operador durante a execução da receita. As receitas e os dados permanecem estáveis ao longo do tempo. Algoritmos específicos para aplicações MEMS permitem a medição de uma vasta gama de estruturas MEMS. As capacidades demonstradas da série IVS para funcionar com alta precisão e sólida fiabilidade, distinguem este sistema.