精密リニア軸 TBS

サーボ モーターボールねじ高性能

TBSは、1自由度の高精度直線軸です。機械式ベアリングによる間接駆動の直動軸で、このカテゴリでは抜群の精度と性能を誇ります。高性能低コギングサーボモータで制御され、デュアルエンコーダフィードバック制御方式を採用し、優れた性能を発揮するとともに、試運転を簡素化することができます。ハイデンハイングループのエンコーダ技術による先進の間接駆動制御に加え、この軸はマクロおよびマイクロモーションに対応したフルストロークでの比類なき機械特性を備えています。 また、この軸は、熱源のサーマルデカップリング、高剛性、マイクロメトリックハードストップなどの特別な設計特性やオプションを備えており、プロセスの安定性と安全性が求められるアプリケーションに特に適した軸となっています。 半導体用途を中心に、高精度、高清浄度、高安定性、高精度のソリューションを必要とするあらゆる市場やニーズにマッチする軸となっています。 特徴 - 全ストローク50mm - 最大可搬質量45 kg - 間接駆動 - 高精度ボールスクリュー - デュアルエンコーダーフィードバック - クリーンルーム対応ISO2 (オプションでISO1) - マイクロメトリックハードストップなどのオプションがあります。 主な仕様 - 双方向繰り返し精度：±0.3 µm - 微動真直度：± 50 nm - 位置安定性：±10 nm - 速度：最大0.03m/s - 加速度：最大0.5g