パルスレーザー光源 VLM/VLR

ナノ秒準連続波ファイバー

概要
10億分の1秒単位で測定されるレーザパルスを利用し、緑色および可視波長のナノ秒ファイバーレーザは、マイクロ加工や非金属材料に対する精密な材料応答を提供します。IPGのファイバーレーザ技術は、波長やパルス持続時間を設定可能なモジュール式およびラック式ソリューションを提供し、産業用途への組込みと生産対応を支援します。

用途

• 高速度マイクロ加工およびポリマー、ガラス、セラミックの精密切断
• PCBの切断・マーキング、抵抗器トリミング、スクライブ
• 透明材料や繊細な表面のマーキング
• 非金属材料（シリコン、OLED基板など）のドリル、テクスチャ、マイクロ構造形成
• 銅の積層造形およびレーザ焼結
• ウェハーやOLEDのアニール、太陽電池プロセス（PERCコンタクト開口、選択エミッタ）
• 医療、科学、先端製造用途

特長

• 緑色～可視波長域をカバー：典型的に517～642 nm（モデルにより異なる）
• 平均出力は低出力ファミリから准CW/高出力モデルで最大1 kWまでスケーラブル
• パルス幅はファミリにより約1 ns～1000 nsまで対応；BurstやQCWオプションあり
• 短パルスで高ピーク出力を実現し、熱影響領域を低減
• モジュールおよびラック形状で、パルスエネルギー、繰返し率、波長などのパラメータを構成可能

マーキングとマイクロ加工
可視域の短い波長とナノ秒パルスにより、多くの非金属材料で熱影響域が小さく効率的に吸収され、マーキング、切断、スクライブ、銅の焼結などでエッジ品質や微細解像度が向上します。

注意
提供ファミリには低出力パルス（10–30 W）、中出力（50–75 W）、高出力（75–100 W）、准CW/高出力モデルおよび可視ナノ秒モジュールが含まれます。仕様の一部は暫定値です。IPGは用途に応じたカスタム仕様を提供可能で、地域による供給状況が異なる場合があります。

特長 / 技術仕様

• 波長：典型範囲 517～642 nm；例：532 nm、517 nm、525–642 nm
• 平均出力：最大1 kW（准CW/高出力モデル）；例：30 W、75 W、100 W、50 W（可視モジュール）
• パルス持続時間：約1 nsまで（選択モデル）；例：1.5 ns、1–200 ns、20–1000 ns、約1.2 ns、4.5 ns
• パルスエネルギー：ファミリ毎の例 — 低出力で単発約18 μJ（バーストで最大70 μJ）；中出力50–700 μJ；高出力100–500 μJ；高繰返し/准CWモジュールは数μJ
• 繰返し率：10 kHz～数MHz（例：10–3500 kHz；QCWは約25–250 MHz；一部可視モジュールは>10 MHz）
• ビーム品質：一部モデルでM2 <1.2；一部で<1.6；可視モジュールはBPP <6 mm·mrad（仕様による）
• 冷却方式：モデルにより空冷または水冷；多くのパルスモジュールは空冷
• パッケージ：モジュールおよびラック式；統合と生産向けにパラメータを構成可能