走査型電子顕微鏡 JSM-7900F

分析用計測学用高解像度

特長 超高空間分解能、高い安定性、マルチパーパスといった従来の装置で高い評価をいただいてきた性能はそのままに、操作性を大きく向上させ、オペレーターのスキルに依存することなく、常に高いパフォーマンスを発揮するJEOLの新しいフラッグシップFE-SEMです。 Neo Engine（New Electron Optical Engine） レンズ制御システムと自動機能技術を統合させた新開発の次世代型電子光学制御システムNeo Engine（New Electron Optical Engine）を搭載。電子光学条件を変更しても、光軸のズレがほとんどなく、操作性や観察の精度が大きく向上し、どなたでも容易に装置本来の性能を引き出せます。 JEOLの電子光学技術の結晶と言えるシステムです。 試料：名刺、加速電圧：1.5kV、倍率：×3,500 エネルギーフィルタの設定値を大きく変えても、視野やフォーカスのズレがほとんどありません。 GBSH-S(GENTLEBEAM™ Super High resolution Stage bias mode) GBSHは低加速電圧での分解能を上げる手法です。 新開発のGBSH-Sにより、試料ステージにバイアス電圧を最大5kVまで印加することが可能になりました。これにより、GBSHモードを使用する際も専用のホルダは必要なく、他のモードにスムーズに移行可能です。 ※GENTLEBEAM™とは試料にバイアス電圧を印加することにより、入射電子に対しては減速、放出電子に対しては加速の作用をもたらします。 新反射電子検出器 新開発の超高感度反射電子検出器を採用し、明瞭なコントラストで観察が可能となりました。従来比で感度が大幅に向上しており、低加速電圧でも高い組成コントラストが得られます。 新プラットフォーム オペレーションコンソールをなくした新しい外観デザインにより省スペース化を実現。様々な設置環境に柔軟に対応できます。 新試料交換方式 新設計の試料交換システム（ロードロック）を採用。シンプルな動作で操作ミスを軽減し、スループットを高め、耐久性も向上しました。 ビギナーからエキスパートまで、迅速で確実な試料交換を可能としました。 スマイルナビ スマイルナビはビギナーが効率よく短期間に基本操作を習得できるように開発された操作ナビゲーションシステムです。フローチャートに従いアイコンをクリックすると、SEM操作画面が連動し、操作をガイドします。 インレンズショットキーPlus電子銃 インレンズショットキーPlus電界放出形電子銃は、電子銃と低収差コンデンサーレンズの融合をさらに改善することにより、高輝度化を実現しました。 電子銃から発生する電子を効率よく集めることができ、低加速電圧でも数pA～数10nAの照射電流が得られ、対物絞りの交換無しで高分解能観察から高速度元素マッピングやEBSD分析まで行えます。 ACL（開き角最適化レンズ） ACL（開き角最適化レンズ）は、対物レンズの上方に搭載され、対物レンズの開き角を全電流範囲にわたり自動的に最適化します。これにより、電流量を変えても自動的に入射電子の広がりを調整するため、常に最小のプローブ径が得られます。高分解能観察から各種分析まで、幅広く照射電流を変化させても、スムーズな観察が可能です。 スーパーハイブリッドレンズ 自社開発の電磁場重畳型対物レンズ”スーパーハイブリッドレンズ”を標準搭載することで、磁性体材料から絶縁体試料まで、あらゆるサンプルを超高空間分解能で観察・分析することができます。 検出器システム 最大4検出器での同時信号取得が可能です。 標準搭載のLED（下方検出器）、UED（上方検出器）に加え、オプションでRBEI（リトラクタブル反射電子検出器）、USD（上方二次電子検出器）を取り付けが可能です。