電界放出形走査電子顕微鏡 JSM-F100

分析用高解像度観測用

特長 JSM-F100は、定評のあるインレンズショットキーPlus 電界放出電子銃と電子光学系Neo Engineに加えて、新開発の操作GUI『SEM Center』とAI (人工知能) を応用した『LIVE-AIフィルター』を搭載し、高空間分解能観察と操作性の両立を実現しました。さらに自社製エネルギー分散形X線分析装置 (EDS) を標準搭載し、SEM Centerとフルインテグレーションすることにより、観察から元素分析まで、より楽にNonstopでデータを取得できます。高性能と使いやすさを進化・融合させたことにより作業効率50%以上の向上を実現し、日々の測定をハイスループット化します。 新機能 SEM Center・EDSインテグレーション 新開発の操作GUI「SEM Center」とEDS分析をフルインテグレーションし、次世代の操作性を実現しました。操作性が良いだけでなく、FE-SEMならではの高分解能画像も得られます。また、観察中も常に元素分析結果が表示されるLive Analysis機能を搭載し、観察から元素分析まで、より楽に効率良くデータを取得できます 新機能 Zeromag機能 光学像とSEM像をシームレスにつなぐ「Zeromag」の搭載により、素早く快適な視野探しが可能になりました。 新機能 LIVE-AIフィルター (Live Image Visual Enhancer-AI) ライブ像をみやすくする新開発のLIVE-AI (人工知能)フィルターを搭載しました。 積算処理と異なり残像がなく追従性の良いライブ像を表示できるため、視野探しやフォーカス、非点の調整に非常に有効なフィルターです。 (本機能はオプションです。) インレンズショットキーPlus 電界放出電子銃(FEG) 電子銃と低収差コンデンサーレンズの融合により高輝度化を実現しました。電子銃から発生する電子を効率よく集めることができ、低加速電圧でも数pA～数10nAの照射電流が得られ、対物絞りの切替え無しで高分解能観察から高速度元素マッピングやEBSD分析まで行えます。 ハイブリッドレンズ (HL) ハイブリッドレンズ (HL) を搭載、磁性体材料から絶縁体試料まで、あらゆるサンプルを高空間分解能で観察・分析することができます。 Neo Engine (New Electron Optical Engine) レンズ制御システムと自動機能技術を統合させた新開発の次世代型電子光学制御システムNeo Engine (New Electron Optical Engine)を搭載。電子光学条件を変更しても、光軸のズレがほとんどなく、操作性や観察の精度が大きく向上し、どなたでも容易に装置本来の性能を引き出せます。 JEOLの電子光学技術の結晶と言えるシステムです。 ACL (開き角最適化レンズ) ACL (開き角最適化レンズ) は、対物レンズの上方に搭載され、対物レンズの開き角を全電流範囲にわたり自動的に最適化します。これにより、電流量を変えても自動的に入射電子の広がりを調整するため、常に最小のプローブ径が得られます。高分解能観察から各種分析まで、幅広く照射電流を変化させても、スムーズな観察が可能です。 検出システム 最大4検出器での信号取得が可能です。 標準搭載のSED (二次電子検出器)、UED(上方検出器) に加え、オプションでRBED (リトラクタブル反射電子検出器)、USD (上方二次電子検出器)の取り付けが可能です。