電界放出形走査電子顕微鏡 JSM-7610F

分析用デジタル カメラ超高解像度

JSM-7610Fは、セミインレンズ対物レンズを採用した超高分解能ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡です。高出力光学系により、ハイスループットで高性能な分析が可能です。また、高空間分解能の分析にも適しています。また、Gentle Beamモードでは、試料への入射電子の侵入を抑え、数百回の着弾エネルギーで試料最表面を観察することが可能です。 セミインレンズ対物レンズによる高解像度イメージングと高性能分析 JSM-7610Fは、低加速電圧で高分解能イメージングを実現するセミインレンズ対物レンズ付き電子柱と、安定した大電流プローブを提供するレンズ内ショットキーFEGという2つの実績ある技術を組み合わせることにより、あらゆるアプリケーションのための幅広いプローブ電流（数pAから200nA以上）で超高解像度を実現しています。 インレンズ型ショットキーFEGは、ショットキーFEGと第1コンデンサーレンズを組み合わせたもので、エミッタからの電子を効率よく収集するように設計されています。 Gentle Beamモード（GB）による低加速電圧での最表面イメージング Gentle Beam（GB）モードは、試料に負の電圧をかけ、入射電子を試料に照射する直前に減速させるため、極めて低い加速電圧で解像度を向上させることができます。 そのため、セラミックスや半導体などの非導電性試料や、従来観察が困難であった最表面を数百eV単位で観察することが可能です。