レーザー検査装置 Voyager™

走査表面欠陥ウェハー用

レーザースキャニングパターン付きウェハ欠陥検査装置 Voyager® 1035レーザースキャン検査装置は、先進的なロジックおよびメモリチップ製造のための生産ランプの欠陥監視をサポートします。DefectWise® ディープラーニングアルゴリズムを搭載したVoyager 1035は、重要なDOI (Defects Of Interest)とパターンの厄介な欠陥を分離し、ユニークで微妙な欠陥を含む重要な欠陥の捕捉率を全体的に向上させる検査装置です。業界独自の斜め照明と量子効率を30%向上させた新型センサーにより、現像後検査（ADI）やEUVリソグラフィーのフォトセルモニタリング（PCM）などのアプリケーションで、繊細なフォトレジスト層の低線量検査に高いスループットと優れた感度をもたらします。Voyager 1035は、高いスループットと感度を実現し、ディープラーニング機能により、リソセルやファブの他のモジュールにおける重要な欠陥を捕捉し、プロセスの問題を迅速に特定し修正することができます。 用途 ラインモニター、ツールモニター、ツールクオリフィケーション、193iおよびEUVレジストクオリフィケーション