光学式検査装置 8 series

走査ウェハー用LED

高生産性パターン付きウェハー広幅検査装置 8シリーズは、様々な種類の欠陥を高スループットで検出し、製造プロセスの問題を迅速に特定・解決することができるパターン付きウェハ検査装置です。8シリーズは、150mm、200mm、300mmのシリコン、SiC、GaN、ガラスなどの基板を使用したチップ製造において、初期製品開発から量産まで、コスト効率の高い欠陥監視を実現します。最新世代の8935検査装置は、新しい光学技術、DesignWise®およびFlexPoint™精密エリア検査技術を採用し、チップの不具合の原因となる重要な欠陥を捕捉します。また、DefectWise® AIテクノロジーにより、欠陥の種類をインラインで高速に分離し、欠陥の発見とビニングを改善します。これらのイノベーションにより、8935は、歩留まりと信頼性に関連する欠陥を低迷惑率で高い生産性で捕捉し、チップ・メーカーが製品の信頼性と低コストでの納入を加速できるよう支援します。8シリーズの検査装置は、ロジック、メモリ、パワー・デバイス、LED、フォトニクス、RFデバイス、MEMSなど、最先端およびレガシー・ノードの幅広い種類のデバイスの製造中に欠陥をモニタリングすることができます。また、AR/VRレンズやハードディスクドライブ（HDD）製造時の品質管理もサポートします。 アプリケーション プロセスモニター、ツールモニター、出荷品質管理 (OQC)