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特徴
技術
光学式, 3D
応用
半導体用
分野
エレクトロニクス産業用
その他の特徴
自動, 高解像度, 高速, ハイスループット
詳細
概要
半導体パッケージ向けに特化して設計された超高精度3D自動光学検査(AOI)システム。光沢面や異なる材料の表面を高速かつ高解像度で検査でき、マガジンローダー/アンローダーを内蔵しています。
主な特長
高解像度レーザーラインスキャン方式を採用した超高精度3D AOI
資材搬送を効率化するマガジンローダー/アンローダー内蔵
高スループットを実現する極めて高速な取得・処理
色、材料、表面粗さに依存しない検査性能
高反射(鏡面)表面に対する有効な検査
検査項目
SiP(System-in-Package)
ダイ接合(Die attach)
アンダーフィル(Underfill)
はんだペーストおよびバンプ
ダイ上のCuクリップ
IGBT
その他の半導体パッケージ部品
製品ポジショニング/ファミリー
Xceed MICRO製品ファミリーの一部(Xceed MICRO │ AXION │ PRECION │ ARTION)
仕様/技術仕様
Manufacturer: PARMI
Model name: AXION
用途: 半導体パッケージの検査
イメージング方式: 高解像度レーザーラインスキャン
ローダー形式: マガジンローダー/アンローダー内蔵
設計意図: 色、材料、表面粗さに依存しない検査性能;高反射表面に最適化
対応検査項目: SiP、ダイ接合、アンダーフィル、はんだペースト&バンプ、ダイ上Cuクリップ、IGBT等
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