光学式検査機 ARTION

3Dウェハー用半導体用

製品ライン
Xceed MICRO │ AXION │ PRECION │ ARTION

概要
ウェーハ検査向けに設計された超高精度の2D/3D自動光学検査（AOI）システムです。高解像度カラー画像取得と検査結果管理を統合し、半導体製造の生産・工程管理を支援します。

主な特長

• 2Dと3Dを組み合わせたAOIにより包括的な欠陥検出が可能
• 欠陥の識別を向上させる高解像度カラーイメージング
• 直感的なティーチングインターフェースと詳細な検査結果管理
• ライン統合のためのEFEM連携サポート（Equipment Front-End Module）
• 安定した再現性のある位置決めを実現する高精度花崗岩（グラナイト）X/Y/Zステージ

ウェーハ搬送と機構

• 8inおよび12inリングフレーム対応ウェーハをサポート
• 多ポートロード構成およびデュアルアーム搬送オプションに対応
• ウェーハの確実な保持を実現する多孔質真空チャック設計

検査項目

• ウェーハダイ検査：チッピング、汚染および関連するダイ欠陥
• バンプ検査：高さ、オフセット、コプラナリティおよびバンプ特性の解析

用途

• 半導体・MEMS製造におけるウェーハレベルAOI
• 2D/3D計測とカラーイメージングを組み合わせた高度な検査タスク

仕様／技術仕様

• 超高精度2D & 3D AOI光学システム
• 高解像度カラー画像取得ユニット
• 使いやすいティーチングインターフェースと検査結果管理ツール
• EFEM連携機能
• 高精度花崗岩（グラナイト）X/Y/Zステージ
• 8inおよび12inリングフレームウェーハ対応
• マルチロードポート構成およびデュアルアーム搬送
• 多孔質真空チャックによる安定固定
• 検査範囲：ウェーハダイ（チッピング、汚染）、バンプ（高さ、オフセット、コプラナリティ）