高負荷ポジショニングステージ SHL-3D5N-5

縦型コンパクト-翻訳中-

取り付け方向に関係なく、5mmの範囲で最大5Nの高可搬質量を持ち上げることができる3DoF位置決めシステム SHLシリーズのリニアステージは高荷重を扱うために特別に設計されています。機械的設計は、ステージ動作の最高分解能を保証する作動ウェッジに基づいています。独立したガイドウェイが負荷方向に沿った直線移動を保証し、直接位置フィードバックと閉ループ動作のための位置センサの統合を可能にします。コンポーネントや機器を持ち上げるための純粋な垂直運動を目的としたステージには、積載量をさらに高い値までオフセットするための追加定力スプリングを装備することができます。 を追加することができます。したがって、数ミリメートルにわたって最大10キログラムを持ち上げることができるナノエンコードステージや、3次元すべてで高い阻止力を提供するSHLシリーズのリニアステージをベースにした多軸システムも可能です。 高可搬質量を提供しながらも、SlarAct SHLステージは非常にコンパクトで、スペースに制約のあるセットアップにも適しています。 メカニカル 自由度 - 3 最大リフト力 [N] - 5 (全方向) 寸法 [mm] - 100 x 140 x 40 重量 [g] - 650 クローズドループ センサー分解能 MCS2 [nm] - 1 (S)、4 (L) 単一方向繰り返し精度 MCS2 [nm] - ± 40 (S,L) センサー分解能 (H)CU [nm] - 100 (L) 一方向リピータビリティ(H)CU [nm] - ± 200 (S,L) オプション 材質オプション - 標準アルミニウム、スチールベース（-ST）、チタンベース（-TI）、黒アルマイト（-BK） 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)