1 mmの移動範囲において、80 Nの荷重をナノメートル単位の精度で持ち上げることができる高荷重垂直ステージ。
SHLシリーズのリニアステージは、特に高荷重に対応するように設計されています。その機械設計は、ステージの動きに最高レベルの分解能を保証するアクチュエータ付きウェッジを基盤としています。 独立したガイドウェイにより、荷重方向に沿った直線的な移動が保証され、位置センサーを組み込んで直接的な位置フィードバックや閉ループ制御を行うことが可能です。部品や機器を持ち上げるための純粋な垂直運動を目的としたステージには、追加の定力ばねを装備することで、許容荷重をさらに高い値まで引き上げることができます。 これにより、数ミリメートルの範囲で最大10キログラムまで持ち上げ可能なナノエンコーダ付きステージに加え、3次元すべてにおいて高い保持力を発揮するSHLシリーズのリニアステージをベースとした多軸システムも実現可能です。
機械的仕様
最大リフト力 [N] - 80
外形寸法 [mm] - 41 x 86 x 50
重量 [g] - 340
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