高負荷ポジショニングステージ SHL-1D80N-1
縦型多軸閉ループ

高負荷ポジショニングステージ - SHL-1D80N-1 - SmarAct GmbH - 縦型 / 多軸 / 閉ループ
高負荷ポジショニングステージ - SHL-1D80N-1 - SmarAct GmbH - 縦型 / 多軸 / 閉ループ
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特徴

方向
縦型
軸の数
多軸
その他の特徴
精密, コンパクト, -翻訳中-, 閉ループ, 真空対応, 開ループ, 高負荷
ストローク

1 mm
(0.039 in)

速度

1 mm/s

繰返し精度

40 nm, 200 nm

詳細

1 mmの移動範囲において、80 Nの荷重をナノメートル単位の精度で持ち上げることができる高荷重垂直ステージ。 SHLシリーズのリニアステージは、特に高荷重に対応するように設計されています。その機械設計は、ステージの動きに最高レベルの分解能を保証するアクチュエータ付きウェッジを基盤としています。 独立したガイドウェイにより、荷重方向に沿った直線的な移動が保証され、位置センサーを組み込んで直接的な位置フィードバックや閉ループ制御を行うことが可能です。部品や機器を持ち上げるための純粋な垂直運動を目的としたステージには、追加の定力ばねを装備することで、許容荷重をさらに高い値まで引き上げることができます。 これにより、数ミリメートルの範囲で最大10キログラムまで持ち上げ可能なナノエンコーダ付きステージに加え、3次元すべてにおいて高い保持力を発揮するSHLシリーズのリニアステージをベースとした多軸システムも実現可能です。 機械的仕様 最大リフト力 [N] - 80 外形寸法 [mm] - 41 x 86 x 50 重量 [g] - 340

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electronica Munich 2026
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10-13 11月 2026 Munich (ドイツ) ホール C1 - ブース 852

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    SPS 2026
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