高負荷ポジショニングステージ CHS-3232-1D-5
縦型閉ループコンパクト

高負荷ポジショニングステージ
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特徴

方向
縦型
その他の特徴
高精度, コンパクト, 閉ループ, 産業用, 高負荷, 開ループ
ストローク

5 mm
(0.197 in)

速度

5 mm/s

繰返し精度

40 nm, 200 nm

詳細

交換可能なドライブユニットを搭載した非常にコンパクトな高荷重ステージで、垂直方向の移動量は5mm、最大5Nの可搬重量に対応します。 CHS-3232-1D-5は、スマーアクトで最もコンパクトな高荷重ステージです。その取り付け穴パターンにより、CLS32シリーズのリニアステージやSR-3211の回転ステージに直接取り付けることができます。サービスの際には、交換可能なドライブユニット一式をステージから取り外すことができますが、その際、デバイスは位置決めセットアップのままです。交換可能なドライブユニットは、ステージの側面から簡単にアクセスできます。独立したガイドウェイにより、負荷方向に沿った直線的な移動が保証されます。位置センサーを内蔵することで、ダイレクトフィードバックとクローズドループ動作を実現。また、作動式ウェッジを採用した機構設計により、高い動作分解能を実現しています。CHS-3232-1D-5は、科学や産業における高稼働率のアプリケーションに適しています。このステージは、5Nのペイロードに対応するために、追加のコンスタントフォース・スプリングを装備することができます。 メカニカル 自由度 - 1 最大自由度リフトフォース [N] - 5 寸法 [mm] - 32 x 32 x 32 重量 [g] - 100 オープンループ 分解能 [nm] - < 1

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カタログ

CHS-3232-1D-5
CHS-3232-1D-5
2 ページ
*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。