高負荷ポジショニングステージ CHS-9257-1D-15

リニア圧電ロングレース用

この長尺高荷重ステージは、ピエゾドライブ一式をステージから取り外してメンテナンスができる、SmarActの交換可能なドライブユニットを搭載しています。ドライブユニットはステージの側面からアクセスできるため、メンテナンスの際に装置を位置決めセットアップから取り外す必要がありません。機械的な設計は、ステージの動きの最高の分解能を保証する作動式ウェッジに基づいています。独立したガイドウェイにより、負荷方向に沿った直線的な動きを保証し、位置センサーを統合して直接的な位置フィードバックと閉ループ動作を可能にします。CLS92シリーズのリニアステージに簡単にねじ止めできるよう、取り付け穴のパターンが用意されています。オプションで最大吊り上げ荷重を増加させることができます。