内蔵型エンコーダー付きナノ位置決めステージ METIRIO Readhead

リードヘッドは、METIRIO® エンコーダの核となる部分です。すべての光学部品と電気部品は、非常に小さなフットプリントのフリップチップパッケージに組み込まれています。 仕様 コンパクトサイズ [mm] - 6.6 x 5.1 x 1.7 低消費電流 [mA] - 20 位置分解能 [nm] - 0,4 @ 20 mm/s 高速 [m/s] - 10 中心波長 [nm] - 850 (不可視) 電気データ 電源電圧 VDD [V] - 3～5.5 出力位置信号（正弦波） [Vpp] - 1 出力基準信号（正方形） [VDD] - RS485 帯域幅 (f3dB) [kHz] - 500 ESD感受性（HBM）[kV] - 各ピンで4 起動時間 [µs] - 150 デジタルインターフェース - TWI 動作環境 UHV適合性 [mbar] - HV (1E-6); UHV (1E-11) 最高ベークアウト温度 [°C] - 160 動作温度範囲 [°C] - 0 - 80 湿度（40 °C） [ - 80（結露なきこと スケールの互換性 グレーティングタイプ - 反射型 スケールピッチ[µm] - 20 スケールタイプ - リニア、コンベックス、ロータリー（直径12 mmまで） 許容作業距離[mm] - 1.2 mm（標準）、ご要望に応じてその他のオプションも可能です。