導入TDB-170-050-NH-A は、低速・高トルクのDCトルクモーターで、精密自動化やダイレクトドライブのCNC用途向けに設計されています。位置制御の高精度化、伝達誤差の低減、高剛性かつ低振動を実現し、ウェハ処理装置、精密インデックステーブル、ダイレクトドライブ回転台、LCDパネル搬送などに適します。
用途- 半導体ウェハ加工装置
- 精密インデックステーブル・回転ステージ
- 高精度ダイレクトドライブ回転台
- LCD・フラットパネル搬送システム
主な特長- 伝達系のバックラッシュや減速誤差を排除
- 低振動で高い構造剛性
- サーボ制御に適した高速応答
- ダイレクトドライブ構造により低メンテナンス
仕様連続トルク: 6 N ·m — ピークトルク: 18 N ·m
連続電流: 2 Arms — ピーク電流: 6 Arms
定格出力: 220 W — トルク定数: 3 N ·m/Arms
抵抗 @25℃: 6 Ohms L-L — インダクタンス: 7.5 mH
逆起電力定数 @25℃: 2.7 Vrms/rad/s — 慣性モーメント: 0.0066 Kg ·m^2
精度: ±15 Arc sec — 繰返し精度: ±2 Arc sec
最大軸荷重: 2000 N — 最大モーメント荷重: 60 N ·m
軸方向偏心: 5 µm — 径方向偏心: 5 µm
最大回転数: 350 rpm — モータ質量: 3.7 Kg
極数: 30 — 分解能: 23 bit Biss-C
直径: 170 mm — 高さ: 50 mm
特性 / 技術仕様- 型式: TDB-170-050-NH-A
- 連続トルク: 6 N ·m
- ピークトルク: 18 N ·m
- 連続電流: 2 Arms
- ピーク電流: 6 Arms
- 定格出力: 220 W
- トルク定数: 3 N ·m/Arms
- 抵抗 @25℃: 6 Ohms L-L
- インダクタンス: 7.5 mH
- 逆起電力定数 @25℃: 2.7 Vrms/rad/s
- 慣性モーメント: 0.0066 Kg ·m^2
- 精度: ±15 Arc sec
- 繰返し精度: ±2 Arc sec
- 最大軸荷重: 2000 N
- 最大モーメント荷重: 60 N ·m
- 軸方向偏心: 5 µm
- 径方向偏心: 5 µm
- 最大回転数: 350 rpm
- モータ質量: 3.7 Kg
- 極数: 30
- 分解能: 23 bit Biss-C
- 直径: 170 mm
- 高さ: 50 mm