温度試験機 SI CHIP-AA-10

連結用自動産業用

SI CHIP-AA-10は、SI CHIPのカップリング試験向けに開発されたカップリング試験装置で、工業的な大量生産を目的としています。独立した自動化サブシステム（6軸高精度カップリング、温度制御、ビジョンガイド、力（圧力）フィードバック）を統合し、カップリングおよび試験工程の安定性と再現性を確保します。

主な機能と設計の要点

• 独立した6軸高精度カップリングシステムにより、高精度な位置決めとカップリング工程を実現。
• ステージの高精度温度制御（TEC＋低温循環機）によるチップ温度管理。
• 高精度ビジョンガイドと高精度圧力フィードバックにより、チップ端でのリアルタイム圧力監視が可能。
• 自動給電、自動供給、ゾーン別排出およびウェーハカセット自動供給など、大量生産に適した自動化機能。
• カップリング試験エリアと上/下料エリアは独立した防振設計。カップリングエリアは精密御影石（グラナイト）とエアベアリング防振を採用し、安定性を向上。
• 高い互換性：治具交換と対応ソフトウェアにより異機種に対応可能。

製品の特長

• フルオートメーション
• 高い互換性
• 高分解能（カップリング分解能 0.05 μm）

用途分野

• オプトエレクトロニクス
• パワーデバイス
• マイクロ波/RFデバイス
• 次世代自動車（新エネルギー車）

技術仕様

• 型番: SI CHIP-AA-10
• カップリング工程: SI CHIP カップリング試験
• カップリング方式: 微動＋計器表示、カップリングアルゴリズム対応
• カップリング分解能: 0.05 μm
• 力制御範囲: 10 g～3000 g
• 装置重量: 約 850 kg
• チップ温度制御: TEC + 低温循環機
• 電源・プローブ: チップ真空吸着＋自動プローブ給電
• 供給・保管: ウェーハカセット自動供給＋チップのゾーン別保管
• 防振設計: カップリング試験エリアと上/下料エリアは独立防振、カップリングエリアは精密御影石とエアベアリング防振を採用