機械式調整システム Dual lens AA-10-z

光学光学デバイスウェーブガイドと光ファイバーアレイ

Dual-lens AA-10-z は、同期双レンズ結合向けに開発されたアクティブアライメントシステムです。直結駆動のナノリニア位置決めプラットフォームにより、高い結合効率、安定性、精度を実現します。高精度な6自由度アクティブ結合・搭載システムを2セット、上下一体の高精度ビジュアルガイダンス、LENS下圧フィードバックと力制御、自動ディスペンス・自動UV硬化、温度制御搬送テーブル（オプション）などを統合し、小ロット検証から量産まで対応します。

主な特長

• 高精度な6自由度アクティブ結合・搭載システムを2セット搭載
• 直結駆動のナノリニア位置決めプラットフォームで結合効率と精度を向上
• 上下ビジュアルキャリブレーションを備えた高精度ビジュアルガイダンス
• LENS圧力フィードバックおよびタッチボトム力制御
• 自動精密ディスペンスおよび自動UV硬化
• 温度制御搬送テーブル（オプション）
• 高効率エアフロート振動減衰システム
• 操作性に優れたソフトウェア、高い装置互換性、治具の迅速交換
• 容易な統合を可能にするコンパクト設計

適用分野

• フォトニクス
• パワーデバイス
• マイクロ波RFデバイス
• 新エネルギー車分野

仕様 / 技術仕様

• 動作環境：温度 22°C ± 2°C；湿度 55% ± 5%
• 結合された直線軸の再現位置決め精度：±100 nm
• 装置重量：約 650 kg
• 正圧源：圧力 ≥ 0.5 MPa；接続口径：8 mm
• 負圧源：真空度 ≤ -80 KPa；接続口径：8 mm（真空ポンプはオプション）
• LENS 真空吸着と力制御フィードバック
• ディスペンス位置決めおよびタッチボトム力制御フィードバック