高精度調整システム PIC&SOA-AA-10

自動

PIC&SOA-AA-10は、PICおよびSOAの組み立て用アクティブカップリングシステムであり、精密な整列と効率的なプロセス自動化を組み合わせて製品品質の安定化と生産歩留まりの向上を目的として設計されています。デュアルの6自由度アクティブカップリングマウントと複数の高精度制御・自動化機能を統合しています。

主な機能

• 精密な整列を実現する6自由度のアクティブカップリングマウントを2基搭載。
• キャリアテーブル温度制御：20～80°C、±0.5°C。
• 高精度ビジュアルガイダンスと圧力フィードバックによる閉ループ整列。
• 自動で高精度なディスペンスと統合型UV硬化機能。
• 外部振動を隔離して歩留まりを向上させるエアフロート振動吸収システム。
• 交換可能な治具とソフトウェア切替による高い互換性で、型番切替や量産化に対応。

適用分野

• フォトニクス
• パワーデバイス
• マイクロ波／RFデバイス製造
• 新エネルギー車分野

特性／技術仕様

• キャリア温度制御：20~80℃、±0.5℃
• 結合された直線軸の繰返し位置決め精度：±100 nm
• 装置重量：約650 kg
• 正圧供給：圧力 ≥ 0.5 MPa；接続口径：8 mm
• 負圧供給：真空度 ≤ -80 kPa；接続口径：8 mm；真空ポンプはオプション
• 追加機能：SOA真空吸着＋電気式ジョークランプ；自動ザッピングプローブ電源；空冷放熱のPIC温度制御治具とPIC自動タイプローブ；エンド圧力フィードバック；自動ディスペンスおよび自動UV硬化；エアフロート振動吸収システム。