連結器システム SIFA AA-10

SIFA AA-10 は、T/RX-FA 製品開発向けに設計されたカップリング装置です。自動ディスペンス、UV硬化、力フィードバック制御を備え、試験検証から量産までハードウェアとソフトウェアを統合します。

主な特長

• 効率的かつ精密なカップリング搭載システム
• ステージの自動レベリングシステム
• アライメント用の視覚ガイダンス
• FAのX/Z方向圧力のリアルタイムで高精度なフィードバック
• 自動ディスペンス
• 自動UV硬化
• 安定性向上のためのエアフローティング衝撃吸収システム
• ソフトの切替が速いユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェース
• 自社開発の効率的なカップリングシステムで高い機器互換性
• 治具の交換が容易

適用分野

• フォトニクス
• パワーデバイス
• マイクロ波RFデバイス分野
• 新エネルギー車分野

特性 / 技術仕様

• 動作環境：温度 22°C ± 2°C；湿度 55% ± 5%
• 結合された直線軸の再現位置決め精度：±100 nm
• 機器重量：約 600 kg
• 正圧源：圧力 ≥ 0.5 MPa；受口径：8 mm
• 負圧源：真空度 ≤ -80 kPa；受口径：8 mm（真空ポンプはオプション）
• FA真空吸着＋電動チャックによる締め付けと力制御フィードバック
• ディスペンス位置決めおよびタッチボトム力制御フィードバック

互換性とオプション

• 研究開発の検証用に設計され、量産ラインへスケール可能
• オプションの真空ポンプおよびカスタム治具に対応
• 多様なFA機器やモジュールとの高い互換性
• プロセスレシピに合わせた高速なソフト切替