高精度調整システム LD LENS AA-10

自動

概要：
LD LENS AA-10 は、LD LENS のカップリングおよび搭載向けに設計された高精度のカップリング・搭載装置で、6 自由度のアクティブカップリングと制御・自動化機能を統合し、安定した再現性のある生産を実現します。

主な機能・特徴：

• 6 自由度のアクティブカップリングおよび搭載
• プロセス安定化のための温度制御ステージ
• 上下ビジュアル位置決め対応の高精度ビジュアルガイダンス
• LENS 下圧の高精度フィードバック
• 吸着と組み合わせたノズル力制御
• 自動ディスペンスおよび自動 UV 硬化による工程統合
• 気浮式ショック吸収システムによる振動隔離
• レシピ切替が速く、装置互換性の高い操作ソフト
• 小ロット検証から大規模量産まで対応可能な治具の容易な交換
• 自動較正機能を含むカスタマイズ可能な構成

適用分野：

• フォトニクス
• パワーデバイス分野
• マイクロ波 RF デバイス分野
• 新エネルギー車分野

特性 / 仕様（主要パラメータ）：

• ステージ温度制御：20~80 °C、±0.5 °C（オプション）
• カップリングされた直線軸の繰り返し位置決め精度：±100 nm
• 機器重量：約650 kg
• 正圧源：圧力 ≥ 0.5 MPa；接続口径：8 mm
• 負圧源：真空度 ≤ -80 kPa；接続口径：8 mm（真空ポンプはオプション）
• ノズル力制御と真空吸着の併用
• 製品治具および自動ディスペンス機能を含む