セラミックプレート INC-P006

アルミナ

イノバセラは、主に半導体ウェーハの研削・ダイシング時の支持・チャックに使用される真空チャック用多孔質セラミックプレート/ディスクを提供しています。薄化、ダイシング、クリアランス、搬送などの工程に適用されます。 在庫は1サイズのみ（Dia200*T3mm、15um）、カスタムサイズも可能です。 主な応用分野： - ディスコ、ADT、K＆S、アプライドマテリアルTSK、OKAMOTO、マイクロオートメーション、ロードポイントなどのダイシングソー、グラインダー用の多孔質セラミックチャック、新品および再生品。 - 6″、8″、12″はレギュラーサイズ、孔径は15um、30um、50um、100umが含まれます。 材質はアルミナ（色：白、薄茶、濃茶、青灰）。 - 特注サイズ（正方形、楕円形、不定形など）も承ります。 特徴は以下の通りです： 高い平坦度と平行度 コンパクトで均一な組織で、高い強度を持つ。 良好な透過性と均一な吸着親和性 長寿命 簡単に着こなしができる。