セラミックプレート

アルミナ酸化アルミニウム

製品説明
この長方形の多孔質アルミナ（Al2O3）セラミックプレートは、半導体および先端製造環境における高精度な真空吸着およびエアベアリング（エアフローティング）用途向けに設計されています。均一な多孔質構造により安定した真空保持力と均等な気流分布を実現し、ウェハ、パネル、薄膜基板の非接触・低損傷ハンドリングを可能にします。クリーン度の高い高精度生産ラインでの使用に適しています。

製品仕様
化学式: Al2O3
形状: プレート
材質: 多孔質アルミナセラミック
CAS番号: 1344-28-1
商品: 多孔質セラミックプレート

寸法 / 公差
長さ: 400 mm ±0.1 mm
幅: 300 mm ±0.1 mm
厚さ: 4 mm ±0.1 mm

主な用途

• 半導体向け真空チャックシステム（ウェハ研削用真空チャック、ウェハダイシング用真空チャック、印刷用真空チャック）
• 真空チャックの洗浄およびメンテナンス
• ウェハ／パネルの搬送用真空チャック
• 精密エアベアリング・エアフローティングプラットフォーム
• 液晶（LCD）およびOLEDパネル製造
• 半導体マイクロエレクトロニクス処理
• 携帯電話用ガラス・パネルのハンドリング
• 薄膜処理およびコーティング
• レーザー加工プラットフォーム
• 印刷およびコーティングシステム
• 太陽光発電・ソーラーパネル産業

主な特徴

• 均一で安定した多孔質構造により予測可能な性能
• ウェハ搬送に適した信頼性の高い真空吸着性能
• エアベアリング／エアフロート用途向けの均一な気流分布
• 非接触ハンドリングにより損傷を最小化
• 高い寸法精度と厳しい公差
• クリーンルーム等の高清浄度製造環境向けに設計
• 大型ウェハやパネルに対応するワイドな長方形フォーマット

物理特性
密度: 2.3–2.5 g/cm³

機械特性
硬度 (HRA): ≥ 50.00

技術仕様

• 化学式: Al2O3
• 標準寸法: 400 × 300 × 4 mm (公差 ±0.1 mm)
• 気孔径（例）: 30 µm
• 色（例）: 薄茶色
• 梱包数量: 1 個/ユニット
• SKU（例）: 69296-00001-1068
• 典型密度範囲: 2.3–2.5 g/cm³
• 硬度: HRA ≥ 50
• 想定用途: 半導体真空チャック、エアベアリング／エアフロートプラットフォーム、クリーン環境でのウェハ／パネルハンドリング