ディスクセラミック

アルミナ

概要 このアルミナ（Al₂O₃）多孔質セラミックディスクは、半導体および高度な製造環境における精密な真空吸着およびエア浮上用途向けに設計されています。均一な多孔構造により、安定した真空保持力と均一な気流分布を実現し、ウェハ、パネル、薄膜基板の非接触・損傷低減ハンドリングを可能にします。

代表的な用途

• 半導体用真空チャックシステム（ウェハ研削用真空チャック、ウェハダイシング用真空チャック、印刷用真空チャック）
• 真空チャックのクリーニング
• 搬送・ハンドリング用真空チャック
• 精密エアベアリング・エア浮上プラットフォーム
• LCD・OLEDディスプレイパネル製造
• 半導体マイクロエレクトロニクス処理
• 携帯電話用ガラス・パネルのハンドリング
• 薄膜処理
• レーザー加工プラットフォーム
• 印刷・コーティングシステム
• 太陽光発電・ソーラーセル産業

主な特長

• 均一で安定した多孔質構造
• 信頼性のある真空吸着性能
• エア浮上用途向けの均一な気流分布
• 非接触でダメージの少ないハンドリングに適合
• 高い寸法精度と一貫性
• 高清浄度の製造環境向けに設計

製品仕様（一般）

• 複数のサイズと厚さを用意
• 荷重・工程要件に応じた異なる孔構造
• すべての仕様で一貫した孔分布

製品識別 / 組成 Formula: Al₂O₃
Forms: Discs
Materials: Alumina Porous Ceramic
CAS Number: 1344-28-1
Commodity: Porous Ceramic Discs

仕様 / 公差（ディスク）
厚さ: 2.5 mm ±0.1 mm
外径: 151.6 mm ±0.1 mm

物理的特性
密度 (g/cm³): 2.3 - 2.5

機械的特性
硬度 (HRA): ≥ 50.00

技術仕様 / 特性

• Formula: Al₂O₃ (alumina porous ceramic)
• 代表的なディスク寸法（例）: D151.6 × 2.5 mm（直径 × 厚さ）
• 厚さ公差: ±0.1 mm
• 外径公差: ±0.1 mm
• 代表的な孔径（例）: 30 μm
• 密度: 2.3–2.5 g/cm³
• 硬度: HRA ≥ 50.00
• 色（例）: ブルーグレー
• 梱包単位（例）: 1 個 / 単位
• 代表的な用途: 真空チャック、エア浮上プラットフォーム、パネルハンドリング、薄膜・レーザー加工
• クリーンルーム / 精密製造環境向け設計
• 荷重・工程要件に合わせた複数のサイズ、厚さ、孔構造バリエーションを提供
• SKU（例）: 69298-00001-1168