Aerotech/エアロテックの圧電ナノ位置決めステージ

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ゴニオメーターナノ位置決めステージ
ゴニオメーターナノ位置決めステージ
FBG Series

積載量: 2 kg

ナノモーションFBGシリーズのゴニオメータステージは、ステージ上のピボット軸に沿って傾斜可動させます。ステージ設計は、2軸をまとめて共通ピボット軸に沿って傾斜させることを可能にしています。 ゴニオメータステージは、曲面上のテープ目盛りの他に、ダイレクト光学エンコーダを採用し、最高1アーク秒の分解能を実現しています。

圧電ナノ位置決めステージ
圧電ナノ位置決めステージ
PLF3232-x.60

... SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動のメカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度な位置決めタスクを実現することが可能です。 PLF3232-x.60は、X方向に60μmのスキャン範囲を提供します。また、重量は30gと非常に軽量で、32×32×12mmと非常にコンパクトです。 ...

圧電ナノ位置決めステージ
圧電ナノ位置決めステージ
PLF3232-z.60

... SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動のメカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度な位置決めタスクを実現することが可能です。 PLF3232-z.60は、Z方向に60μmを超えるスキャン範囲を実現しています。また、重量は30gと非常に軽量で、32×32×15mmと非常にコンパクトです。 ...

圧電ナノ位置決めステージ
圧電ナノ位置決めステージ
PLF5252-x.200

... SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動のメカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度な位置決めタスクを実現することが可能です。 PLF5252-x.200は、X方向で200μm以上のスキャン範囲を実現しています。また、重量は90gと非常に軽く、52×52×15mmと非常にコンパクトです。 ...

圧電ナノ位置決めステージ
圧電ナノ位置決めステージ
OP800

ストローク: 800 µm
速度: 17 m/s
繰返し精度: 6 nm

... OP800ピエゾ対物レンズスキャナーは、対物レンズポジショナーの中で最速のステップタイムとセトリングタイムを提供します。また、静電容量式フィードバックセンサーを搭載し、市場をリードする位置決め精度と分解能を実現しています。ほとんどの顕微鏡と対物レンズに対応し、対物レンズの大きさ、重さ、性能のニーズに応じて最適な設定が可能です。ユーザーは、アプリケーションに最適な設定を選択するだけです。 ...

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
OP400

ストローク: 400 mm

... NanoScan OP400ナノ位置決めピエゾ対物スキャナは、利用可能な任意の対物ポジショナで最速のステップとセトリット時間を提供します。 容量性帰還センサを組み込み、市場をリードする位置決め精度と分解能を備えています。 ほとんどの顕微鏡や対物レンズに対応するシステムは、異なる対物サイズ、重量、性能のニーズに合わせて最適化されたユーザー設定可能な設定を備えています。 ...

Z軸ナノ位置決めステージ
Z軸ナノ位置決めステージ
SP series

ストローク: 400, 600, 800 µm
速度: 8, 9, 10 m/s
繰返し精度: 3 nm

... 最高の位置決め性能とZスタック間の最速リカバリを提供するナノスキャン-SPシリーズのピエゾ駆動ステージは、適切なアダプタプレートを使用することで、多くの一般的な顕微鏡と同様にPrior電動ステージと互換性があります。高さ13.7mmの超薄型ステージは、400umおよび600umのクローズドループステージの特徴で、サンプルエリアの照明に適したアクセスを提供します。ウェルプレート、マイクロタイタープレート、スライド、ペトリ皿など、さまざまなサンプルに対応するアクセサリーインサートプレートが用意されています ...

真空対応ナノ位置決めステージ
真空対応ナノ位置決めステージ
LA97 series

ストローク: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 0.015 µm - 0.02 µm

... コントローラFMC400/450をオプションで用意 水平および垂直方向のナノメートル単位の位置決め この真空リニア軸は、10~11mbar までのすべての HV / UHV レンジに適しています。垂直方向の位置決めにも使用できるため、汎用的に使用できます。真空中で極めて高い分解能と高い剛性を実現します。移動させる負荷に応じて、2~6個のモーターを挟み込むように配置することができます。 ...

圧電ナノ位置決めステージ
圧電ナノ位置決めステージ
MT53-PM

ストローク: 10 mm
速度: 5 mm/s

... クロスローラベアリングとピエゾモータを採用した、ナノメートル領域でのステップ動作が可能なマイクロステージです。 高分解能マイクロステージ Steinmeyer Mechatronik製品群の中で最小のステージは、非常に高い解像度を提供します。その小型化設計により、スペース要件が制限され、高水準が要求されるアプリケーションに最適です。 ピエゾモーターによる最適なステップサイズ MT53は、クロスローラベアリングとピエゾモータを搭載しており、ナノメートル領域でのステップを可能にします。真空および非磁性体バージョン ...

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
NPX series

ストローク: 0.4, 0.2, 0.1 mm

... 共振周波数 -真空バージョン 特徴 サブナノメートルの位置決め分解能 NPXピエゾスタックリニアステージは、0.2nmの位置決め分解能を持ち、分解能は制御電子機器のノイズによってのみ制限される超微細な調整を行うことができます。 大きなピエゾ可動範囲 NPXピエゾスタックリニアステージは、高信頼性、多層、低電圧の圧電トランスデューサースタックを採用し、高負荷サイクルのオペレーションを実現します。FEAで最適化された洗練された平行四辺形の固体フレクシャーガイドシステムにより、完璧な平行移動と最大400 ...

XY軸ナノ位置決めステージ
XY軸ナノ位置決めステージ
PXY Series

ストローク: max 16.0 µm

... PXYシリーズは、圧電式アクチュエータをフレクチャーヒンジシステムに侵入するために使用されるXYナノポジショニングステージです。 これらの組み立てにより、ナノメートル精度の動的条件下でユニットを動作させることができます。 これは、軸あたり約 700ミクロンの走行範囲を備えています。 ...

Z軸ナノ位置決めステージ
Z軸ナノ位置決めステージ
Model ZSA-1000C

ストローク: 1 mm

... DSMのナノ位置決め圧電 ZSA-1000Cステージは、走査、計測、検査プロセスにおいて、1mmの垂直移動範囲にわたって屈曲誘導運動を特長としています。 安定性と剛性の高いキネマティック設計は、最小限のロールとチルトで出力モーションの並列性を促進し、動的な応答性を実現し、優れた位置安定性と制御を実現します。 ...

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