{{product.productLabel}} {{product.model}}
{{#if product.featureValues}}{{product.productPrice.formattedPrice}} {{#if product.productPrice.priceType === "PRICE_RANGE" }} - {{product.productPrice.formattedPriceMax}} {{/if}}
{{#each product.specData:i}}
{{name}}: {{value}}
{{#i!=(product.specData.length-1)}}
{{/end}}
{{/each}}
{{{product.idpText}}}
{{product.productLabel}} {{product.model}}
{{#if product.featureValues}}{{product.productPrice.formattedPrice}} {{#if product.productPrice.priceType === "PRICE_RANGE" }} - {{product.productPrice.formattedPriceMax}} {{/if}}
{{#each product.specData:i}}
{{name}}: {{value}}
{{#i!=(product.specData.length-1)}}
{{/end}}
{{/each}}
{{{product.idpText}}}
ストローク: 100, 400, 800 µm
繰返し精度: 50, 10 nm
... 比べ、格段に速い応答と長い寿命 - サブ nm 分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー 応用分野 - 3Dイメ ージ ング - スクリー ニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシ ステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータ ...
Physik Instrumente
ストローク: 100, 200 µm
... み合わせることができ、素早く交換することができます。すべてのサーボとリニアライゼー ションのパラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。 デジタルコントローラのオートキャリブレー ション機能は、コントローラの 電源を入れるたびにこの データを使用します。 生産的なオペレ ーションを迅速に開始するための豊富なソフトウェア MATLAB、NI ...
Physik Instrumente
... - 4mradまでの光ビーム偏向 - プラットフォームとミラー間のCTEを調整するための様々な異なる素材 - より高い精度とダイナミ クスのためのパラレルキネマティ クス - サブミリ秒の応答時間 - クローズドループバー ジョンによる直線性の向上 - 優れた温度安定性 応用分野 - 画像処理/安定化 - 光トラッピ ング - レーザースキャ ニング/ビーム ステアリ ング（偏向角大 - ...
Physik Instrumente
ストローク: 25 mm
速度: 0.02 m/s
繰返し精度: 0.15, 0.2, 1 µm
... - 分解能0.1 µmの高精度リニアエンコーダ内蔵 - 最小イ ンクリメンタルモー ション0.2 µm - 循環 式ボールねじによる高速性と長寿命 イ ンクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式リニアエンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。 応用分野 光学アライメント精密オートメ ーション ...
Physik Instrumente
ストローク: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
繰返し精度: 5 µm
... リサーキュレーティ ングボールガイドは、高負荷容量と高動力設計です。モータの高分解能により、トラッキ ング性能の向上、トラッキ ングエラーの低減、セトリ ングタイムの短縮を実現しています。 同期 サーボモーター 位置決め精度が高く、広い回転速度範囲で高い過負荷耐量を発揮します。高トルクと低慣性は、ドライブの高いダイナミ クスを保証します。これらのモータの長寿命、高性能、および堅牢性により、産業オートメ ーション・アプリケ ーションで優れた結果を得ることができます。 ステッピ ングモーター 強力で低振動の2相 ステッピングモーター ...
Physik Instrumente
ストローク: 5, 25, 15 mm
速度: 1.5, 1 mm/s
繰返し精度: 0.25, 2 µm
... リミットスイッチ XYセットアップを直接取り付け可能 コンパクトなリニア ステ ージ、多目的に使用可能 ベルトドライブによる折りたたみ式でコンパクトなリニア ステ ージ。アダプタープレートなしでXYセットアップが可能。 特に真空環境での使用において、アウトガスを低減。 ガイドとスピンドルの潤滑には、特にアウトガスの少ない材料を使用しています。これにより、ベークアウト温度は80°Cまで可能です。PI ...
Physik Instrumente
ストローク: 32 mm
... - 幅わずか32mm、高さ8mm - 分解能0.75 µradのイ ンクリメンタルエンコーダによる直接位置測定 - 最小3 µradまでのイ ンクリメンタルモー ション - 360°以上の回転範囲 - 速度45°/秒 製品概要 ピエゾ慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を持つ、省スペースで手頃な価格のピエゾベースのドライブです。イナーシャドライブの原理は、特殊なドライバ 電子機器から供給される修正された鋸歯状電圧で制御される単一の圧電アクチュエータに基づいています。アクチュエーター ...
Physik Instrumente
ストローク: 250, 170 mm
速度: 0.7, 0.6 m/s
繰返し精度: 0.1, 0.05, 0.15 µm
... 1nmのイ ンクリメンタルリニアモー ション 高精度位置エンコーダオプ ションイ ンクリメンタルおよびアブソリュート測定 コンパクトサイズ：80mm×25mm断面 高負荷容量と高い幾何学的性能を実現するクロスローラガイド アイアンコアおよびアイアンレス3相リニアモータを選択可能 リニアモータと超薄型設計のコンパクトな直線移動 ステ ージ 高精度リニア・モーター・ ステ ージのV-508ファミリーは、非常にコンパクトな薄型パッケ ージで高速性と高精度を提供します。これらのクローズドループ 電動ナノ位置決め ステージは、高性能 ...
Physik Instrumente
ストローク: 102 mm - 407 mm
速度: 0.3 m/s
繰返し精度: 1 µm
... 幅 166 mm 精密ボールねじ イ ンクリメンタルまたはアブソリュートリニアエンコーダ、各種分解能 精密リニアボールガイド、耐荷重450 N 側面のカバーストリップで異物から保護 要求の厳しい産業用アプリケ ーションに使用できる強力なリニア ステ ージ 高精度ボールねじ、高性能同期 サーボモーター、ヘビーデューティ再循環ボールベアリ ングガイド、高精度ロータリエンコーダおよびリニアエンコーダにより、高負荷下での継続的で信頼性の高い動作が可能です。オプ ションの保持ブレーキにより、Z軸として使用できます。ボール ...
Physik Instrumente
ストローク: 25, 5, 15 mm
速度: 1.5, 2, 1 mm/s
繰返し精度: 0.25, 0.15, 2 µm
... 折りたたみ式で非常にコンパクト ステッピ ングモーターおよびクローズドループDCモーター 非接触リファレンスおよびリミットスイッチ XYセットアップを直接取り付け可能 大量生産が可能 真空に適したバリエ ーション コンパクトなリニア ステ ージ。 ベルトドライブによる折りたたみ式でコンパクトなリニア ステ ージ。アダプタープレートなしでXYセットアップが可能。 駆動部 2相 ステッピ ングモーターまたはクローズドループDCギアモーター バックラッシュ補正付きねじスピンドルまたはボールねじ 位置測定 DC ...
Physik Instrumente
ストローク: 12 mm - 321 mm
速度: 1.2, 0.02, 0.1 m/s
繰返し精度: 0.25, 0.4, 0.3 µm
... は、クリティカルディメン ションや薄膜測定、ウェーハスクライビ ング、ウェーハレーザーサーマルアニールなどのウェーハプロセス制御アプリケ ーションで広く使用されています。また、Back End Of Lineリソグラフィ装置（マスクアライナー）や一部のウェーハダイシ ングアプリケ ーションにも適しています。 METISは信頼性の高い性能を提供し、先端半導体およびフォトニ クス・アプリケ ーションに不可欠なツールとなっています。 特徴 METISはメカニカルベアリ ングとエアベアリ ングテクノロジーを組み合わせ、 ...
ストローク: max 100.0 µm
... 特性： 3 軸変換シ ステムと2 軸傾斜シ ステムの組み合わせ 直径 17mmの自由中心穴 各軸の統合プリロード変換： 各方向に最大 100μmチルト：± 2mrad ソリッド ステートフレクチャーヒンジ機械式なし平行四辺形設計 再生 オプ ション: 統合された測定シ ステム 光学 ステ ージは、多くの場合、開放的な中央スペースを必要とします ...
piezosystem jena GmbH
ストローク: 150, 72 mm
速度: 150, 160 mm/s
... piezosystem jenaが提供するSCANIUStwoは、高精度を維持しながら、長い移動距離でサンプルを位置決めするために設計されています。この新しい2軸 ステ ージにより、ピエゾシ ステムイエナは、サンプルやオブジェクトを扱うためのより良い、よりエレガントなソリュー ションを提供します。高解像度と簡単な統合の組み合わせにより、このシ ステムは様々なアプリケ ーションに最適です。 ...
piezosystem jena GmbH
ストローク: 120, 72 mm
速度: 0.3 m/s
... 反転した研究用顕微鏡用リニアモータ技術を備えたフラットトップ ステ ージHLD117シリーズは、利便性と性能の新しい基準を打ち立てています。 マイクロマニピュレータやインキュベー ションチャンバーなどの他のアイテムとシームレスに統合するように設計されており、 ステ ージの上面には障害物が完全に存在しません。 これにより、非常に人間工学に基づいたプラットフォームが提供され、サンプル領域に非常に簡単にアクセ スできます。 ...
Prior Scientific
ストローク: 108 mm
速度: 0.02 m/s
... HT1111LC ProScan™ ソリッドフレーム ステ ージは、直立顕微鏡および硬度試験用に設計されています。 HT1111LCは走行範囲 108mm x 108mm、0.7ミクロンの繰り返し性、最大 100kgの重量容量、およびPrior Scientific ProScanコントローラと併用した場合の驚異的な20ナノメートルの分解能を備えています。 ...
Prior Scientific
ストローク: 65 mm
速度: 0.01 m/s
... Prior ZDeck、 電動 ProScan XY ステ ージ、ProScan IIIコントローラ、デュアルジポットコントロールを備えたPS3J100 ジョイ スティック、ユニバーサルホルダー、ソリッドアルミニウムプレート、2つのマイクロマニピュレータマウント、コンデンサースペーサーと4つの10mmピラスペーサーを備えた前の高精度 電動 ...
Prior Scientific
ストローク: 154 mm
速度: 0.02 m/s
... ほとんどの直立顕微鏡に適合するH105-Fは、精密に設計されたProScan® ステ ージの幅広い範囲の一部です。 広い走行範囲で、半導体ウェーハ、フォトマスク、プリント回路基板を含む大きなサンプルに対応できるため、材料科学アプリケ ーションに最適です。 交換可能なサンプルホルダにより、スライドは様々な用途に使用できます。 高分解能と優れた再現性を備えたH105N2Fは、ハイエンドの材料科学アプリケ ーションに最適です。 ...
Prior Scientific
ストローク: 114, 75 mm
速度: 0.04, 0.02, 0.1, 0.05 m/s
... H117 ステ ージシリーズは、簡単にアクセ スできるように完全にフラットなトップを備え、インテリジェントスキャンテクノロジー（IST）を備えています。 広範なテストと組み合わせることで、ISTは各 ステ ージに固有の動作特性セットを事前にプログラムし、最適な性能を保証します。 ISTを使用すると、ProScan™ IIIコントローラは、優れた直交性とメトリック精度を維持するために必要な調整を行うことができます。 ...
Prior Scientific
ストローク: 80 mm - 120 mm
速度: 40 mm/s - 100 mm/s
繰返し精度: 0.2 µm - 0.7 µm
... カスタムサンプルホルダーなど、さまざまなアプリケ ーションに対応できます。オプ ションの高解像度XYエンコーダを組み込むことで、最高の精度が得られます。 H101Fでは、より細い ステ ージケーブルを採用し、ケーブルの取り回しを容易にしました。旧来のサンプルホルダーも、簡易なアダプタプレートを追加すれば、新型H101Fで使用可能です。H101F ProScan® ステ ージは、特許取得のインテリジェントスキャン ニングテクノロジー（IST）を搭載しています。インテリジェントスキャン ニングテクノロジー（IST）は、さまざまなな ...
Prior Scientific
ストローク: 71 mm - 240 mm
繰返し精度: 1 µm
積載量: 0 kg - 10 kg
... H138A ステ ージは、75 mm × 25 mmの顕微鏡用スライドを最大8枚載せることができるため、作業の生産性を高められます。正立顕微鏡用H138A ステ ージには、インテリジェントスキャ ニングテクノロジー（IST）が搭載されています（H101、H107、H117モデルにも搭載）。ISTは、さまざまなな試験に組み合わせることで、各 ステ ージ固有の動作特性を事前プログラムできるため、最適なパフォーマンスが得られます。ISTでは、ProScan®IIIコントローラが優れた直交性と計測精度を維持するために、 ...
Prior Scientific
ストローク: 302 mm
速度: 40 mm/s
繰返し精度: 0.7 µm
... H112 ステ ージは、半導体ウエハー、フォトマスク、フラットパネルディスプレイ、プリント基板など幅広い分野のスキャンに最適です。H112は、12インチ（300mm）ウェーハを容易に収容することができ、多くのロボットアームウエハーローダーに対応することができます。また、H112は250 mm × 250 mmの透過光エリアを持つ透過光用途に使用することができます。 • 主要メーカーのマイクロスコープに対応 • 1 μm以上の繰り返し精度 • ...
Prior Scientific
ストローク: 77 mm - 115 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 5 µm
... 倒立顕微鏡用ES107 OptiScan ステ ージは、価格と性能のバランスが最適です。ES107は、プライアー・サイエンティフィックのH107 ProScan ステ ージのさまざまなサンプルホルダーを利用できるように設計されています。これにより、スライドグラス、マルチウェルプレート、ペトリ皿、研磨金属試料など、幅広い種類のサンプルの検査が可能となりました。 • 主要メーカーのマイクロスコープに対応 • ...
Prior Scientific
ストローク: 215 mm - 256 mm
速度: 40 mm/s
繰返し精度: 2 µm
... H116 ステ ージは、ほとんどの大型顕微鏡に対応し、8インチ（200mm）ウェーハや各種大型サンプルを容易に搭載できるため、半導体ウエハー、フォトマスク、フラットパネルディスプレイ、プリント基板など、幅広い分野のスキャンに最適です。 • 主要メーカーのマイクロスコープに対応 • 1 μm以上の繰り返し精度 • 静粛性・信頼性 • 豊富なウエハーホルダー。 • 255 mm x 215 mm（10インチ x 8.5インチ）の移動量 ...
Prior Scientific
