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繰返し精度: 1 µm
積載量: 4 kg
... モー ション・プラットフォームのサイズ 85 mm × 75 mm ロープロファイル 40 mm 移動範囲 25 mm 速度 390 mm/s 加速度10 m/s2 製品概要 エアベアリ ング付きPIglideミニチュア リニア ステ ージは、 リニアモータードライブ、プリロードエアベアリ ング、光学式 リニアエンコーダを内蔵しています。この ステ ージは小さな設置面積で非常に高い精度を提供します。非接触コンポーネントの組み合わせにより、摩擦のないモー ションを実現し、卓越した動的性能、ナノメートル精度の位置決め、 ...
Physik Instrumente
ストローク: 5, 25, 15 mm
速度: 1.5, 1 mm/s
繰返し精度: 0.25, 2 µm
... リミットスイッチ XYセットアップを直接取り付け可能 コンパクトな リニア ステ ージ、多目的に使用可能 ベルトドライブによる折りたたみ式でコンパクトな リニア ステ ージ。アダプタープレートなしでXYセットアップが可能。 特に真空環境での使用において、アウトガスを低減。 ガイドとスピンドルの潤滑には、特 にアウトガスの少ない材料を使用しています。これにより、ベークアウト温度は80°Cまで可能です。PI ...
Physik Instrumente
ストローク: 50 µm - 240 µm
繰返し精度: 5, 10 nm
... 大口径でハイダイナミ クスを実現 - パラレル・キネマティ クスによる高速応答と高い多軸精度 - ゼロプレイ、高精度のフレクシャーガイドシ ステム - PICMA®ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 - 66 mm × 66 mmのクリアアパーチャー - 静電容量式センサーによる最高の直線性 - 計測技術 - 干渉計 - フォトニ クス/集積光学系 - リソグラフィー - ...
Physik Instrumente
ストローク: 100, 400, 800 µm
繰返し精度: 50, 10 nm
... 比べ、格段に速い応答と長い寿命 - サブ nm 分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー 応用分野 - 3Dイメ ージ ング - スクリー ニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシ ステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータ ...
Physik Instrumente
ストローク: 100, 200 µm
... に応じて組み合わせることができ、素早く交換することができます。すべてのサ ーボと リニアライゼー ションのパラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。デジタルコントローラのオートキャリブレー ション機能は、コントローラの電源を入れるたびにこの データを使用します。 生産的なオペレ ーションを迅速に開始するための豊富なソフトウェア MATLAB、NI ...
Physik Instrumente
ストローク: 22 mm
速度: 0.2 m/s
繰返し精度: 0.2 µm
... - 10nmの高いセンサー分解能 - セルフロック式で静止時の発熱がない - 低ノイズ 精密級 リニア位置決め ステ ージ PILine® ステ ージは、高速精密位置決めを必要とするアプリケ ーションに特に適しています。スイッチを切ると、セルフロックドライブが ステ ージの位置を機械的に安定させます。そのため、エネルギー消費と発熱が大幅に削減されます。バッテリー駆動や熱に敏感な低デューティサイクルのアプリケ ーションでは、このような特性のメリットがあります。軸の位置はエンコーダで測定され、光学式リファレンススイッチ ...
Physik Instrumente
ストローク: 26, 13 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 100, 200 nm
... その位置に留まります。動作周波数は最大20 kHzで、駆動部が直接ランナーに作用し、最大速度8 mm/sを達成します。8mm/sを達成する。 直接測定原理 リニア ステ ージには非接触測定光学式 リニアエンコーダとリファレンススイッチが装備されています。分解能1nm。 応用分野 マイクロアセンブリフォトニ クス光アライメント顕微鏡検査ビーム ライン装置半導体技術試験 ...
Physik Instrumente
ストローク: 25 mm
速度: 0.02 m/s
繰返し精度: 0.15, 0.2, 1 µm
... - 分解能0.1 µmの高精度 リニアエンコーダ内蔵 - 最小イ ンクリメンタルモー ション0.2 µm - 循環式ボールねじによる高速性と長寿命 イ ンクリメンタル リニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式 リニアエンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。 応用分野 光学アライメント精密オートメ ーション ...
Physik Instrumente
ストローク: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
繰返し精度: 5 µm
... 610 mm 精密ボールねじ、最大負荷容量50 kg ステッピ ングモーターまたはサ ーボモーター 折りたたみ式ドライブトレインによるコンパクト設計 垂直取り付け用保持ブレーキ付きモデル 要求の厳しい産業用アプリケ ーションで使用できる強力な リニア ステ ージ 高精度ボールねじ、高性能 ステッピ ングモータまたは同期サ ーボモータ、ヘビーデューティ再循環ボールベアリ ング、高精度ロータリーエンコーダにより、高負荷下でも信頼性の高い 連続運転が可能です。オプ ションの保持ブレーキにより、Z軸として使用できます。ボールねじは ...
Physik Instrumente
ストローク: 102 mm - 813 mm
速度: 2 m/s
繰返し精度: 0.5 µm
... N - イ ンクリメンタルまたはアブソリュート リニアエンコーダ - 精密循環式ボールベアリ ング、最大荷重450 N - 側面のカバーストリップで異物から保護 リファレンスクラス リニ アポ ジショナー V-417により、PIは産業用ソリュー ションのポートフォリオに リニアモーター付き高精度 リニア ステ ージを追加しました。V-417の設計は一貫して厳しい産業条件に対応し、高い剛性と高品質なコンポーネントの使用を特徴としています：高性能アイアンレス リニアモーター、ヘビーデューティ再循環ボールベアリ ングガイド、高精度 ...
Physik Instrumente
ストローク: 12 mm - 321 mm
速度: 1.2, 0.02, 0.1 m/s
繰返し精度: 0.25, 0.4, 0.3 µm
... は、クリティカルディメン ションや薄膜測定、ウェーハスクライビ ング、ウェーハレーザーサーマルアニールなどのウェーハプロセス制御アプリケ ーションで広く使用されています。また、Back End Of Lineリソグラフィ装置（マスクアライナー）や一部のウェーハダイシ ングアプリケ ーションにも適しています。 METISは信頼性の高い性能を提供し、先端半導体およびフォトニ クス・アプリケ ーションに不可欠なツールとなっています。 特徴 METISはメカニカルベアリ ングとエアベアリ ングテクノロジーを組み合わせ、 ...
ストローク: max 100.0 µm
... 特性： 3 軸変換シ ステムと2 軸傾斜シ ステムの組み合わせ 直径 17mmの自由中心穴 各軸の統合プリロード変換： 各方向に最大 100μmチルト：± 2mrad ソリッド ステートフレクチャーヒンジ機械式なし平行四辺形設計 再生 オプ ション: 統合された測定シ ステム 光学 ステ ージは、多くの場合、開放的な中央スペースを必要とします ...
piezosystem jena GmbH
ストローク: 150, 72 mm
速度: 150, 160 mm/s
... piezosystem jenaが提供するSCANIUStwoは、高精度を維持しながら、長い移動距離でサンプルを位置決めするために設計されています。この新しい2軸 ステ ージにより、ピエゾシ ステムイエナは、サンプルやオブジェクトを扱うためのより良い、よりエレガントなソリュー ションを提供します。高解像度と簡単な統合の組み合わせにより、このシ ステムは様々なアプリケ ーションに最適です。 ...
piezosystem jena GmbH
ストローク: 154 mm
速度: 0.02 m/s
... ほとんどの直立顕微鏡に適合するH105-Fは、精密に設計されたProScan® ステ ージの幅広い範囲の一部です。 広い走行範囲で、半導体ウェーハ、フォトマスク、プリント回路基板を含む大きなサンプルに対応できるため、材料科学アプリケ ーションに最適です。 交換可能なサンプルホルダにより、スライドは様々な用途に使用できます。 高分解能と優れた再現性を備えたH105N2Fは、ハイエンドの材料科学アプリケ ーションに最適です。 ...
Prior Scientific
ストローク: 114, 75 mm
速度: 0.01 m/s - 0.1 m/s
... H101A ProScan™ ステ ージは、ほぼすべての顕微鏡や光学シ ステムに適応できます。 H101A ステ ージでは、試料を自動的にスキャンし、後で回収および検査を行うためのポイントを保存し、比類のない再現性を備えることで、労働効率を高めることができます。 H101Aは、ラスタ、ヘビ、ランダムパターンを含むあらゆる種類のパターンの、スライド、マイクロタイタートレイ、半導体ウェーハ、または冶金試料のスキャンまたは検査に最適です。 ...
Prior Scientific
ストローク: 120, 72 mm
速度: 0.3 m/s
... 反転した研究用顕微鏡用 リニアモータ技術を備えたフラットトップ ステ ージHLD117シリーズは、利便性と性能の新しい基準を打ち立てています。 マイクロマニピュレータやインキュベー ションチャンバーなどの他のアイテムとシームレスに統合するように設計されており、 ステ ージの上面には障害物が完全に存在しません。 ...
Prior Scientific
ストローク: 108 mm
速度: 0.02 m/s
... HT1111LC ProScan™ ソリッドフレーム ステ ージは、直立顕微鏡および硬度試験用に設計されています。 HT1111LCは走行範囲 108mm x 108mm、0.7ミクロンの繰り返し性、最大 100kgの重量容量、およびPrior Scientific ProScanコントローラと併用した場合の驚異的な20ナノメートルの分解能を備えています。 ...
Prior Scientific
ストローク: 65 mm
速度: 0.01 m/s
... Prior ZDeck、電動 ProScan XY ステ ージ、ProScan IIIコントローラ、デュアルジポットコントロールを備えたPS3J100 ジョイ スティック、ユニバーサルホルダー、ソリッドアルミニウムプレート、2つのマイクロマニピュレータマウント、コンデンサースペーサーと4つの10mmピラスペーサーを備えた前の高精度電動 ZDeckクイック調整プラットフォームシ ステム。 ...
Prior Scientific
ストローク: 114, 75 mm
速度: 0.04, 0.02, 0.1, 0.05 m/s
... H117 ステ ージシリーズは、簡単にアクセ スできるように完全にフラットなトップを備え、インテリジェントスキャンテクノロジー（IST）を備えています。 広範なテストと組み合わせることで、ISTは各 ステ ージに固有の動作特性セットを事前にプログラムし、最適な性能を保証します。 ISTを使用すると、ProScan™ IIIコントローラは、優れた直交性とメトリック精度を維持するために必要な調整を行うことができます。 ...
Prior Scientific
ストローク: 80 mm - 120 mm
速度: 40 mm/s - 100 mm/s
繰返し精度: 0.2 µm - 0.7 µm
... カスタムサンプルホルダーなど、さまざまなアプリケ ーションに対応できます。オプ ションの高解像度XYエンコーダを組み込むことで、最高の精度が得られます。 H101Fでは、より細い ステ ージケーブルを採用し、ケーブルの取り回しを容易にしました。旧来のサンプルホルダーも、簡易なアダプタプレートを追加すれば、新型H101Fで使用可能です。H101F ProScan® ステ ージは、特許取得のインテリジェントスキャン ニングテクノロジー（IST）を搭載しています。インテリジェントスキャン ニングテクノロジー（IST）は、さまざまなな ...
Prior Scientific
ストローク: 71 mm - 240 mm
繰返し精度: 1 µm
積載量: 0 kg - 10 kg
... H138A ステ ージは、75 mm × 25 mmの顕微鏡用スライドを最大8枚載せることができるため、作業の生産性を高められます。正立顕微鏡用H138A ステ ージには、インテリジェントスキャ ニングテクノロジー（IST）が搭載されています（H101、H107、H117モデルにも搭載）。ISTは、さまざまなな試験に組み合わせることで、各 ステ ージ固有の動作特性を事前プログラムできるため、最適なパフォーマンスが得られます。ISTでは、ProScan®IIIコントローラが優れた直交性と計測精度を維持するために、 ...
Prior Scientific
ストローク: 302 mm
速度: 40 mm/s
繰返し精度: 0.7 µm
... H112 ステ ージは、半導体ウエハー、フォトマスク、フラットパネルディスプレイ、プリント基板など幅広い分野のスキャンに最適です。H112は、12インチ（300mm）ウェーハを容易に収容することができ、多くのロボットアームウエハーローダーに対応することができます。また、H112は250 mm × 250 mmの透過光エリアを持つ透過光用途に使用することができます。 • 主要メーカーのマイクロスコープに対応 • 1 μm以上の繰り返し精度 • ...
Prior Scientific
ストローク: 77 mm - 115 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 5 µm
... 倒立顕微鏡用ES107 OptiScan ステ ージは、価格と性能のバランスが最適です。ES107は、プライアー・サイエンティフィックのH107 ProScan ステ ージのさまざまなサンプルホルダーを利用できるように設計されています。これにより、スライドグラス、マルチウェルプレート、ペトリ皿、研磨金属試料など、幅広い種類のサンプルの検査が可能となりました。 • 主要メーカーのマイクロスコープに対応 • ...
Prior Scientific
