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ストローク: 50 µm - 240 µm
繰返し精度: 5, 10 nm
... 大口径でハイダイナミ クスを実現 - パラレル・キネマティ クスによる高速応答と高い多軸精度 - ゼロプレイ、高精度のフレクシャーガイドシ ステム - PICMA®ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 - 66 mm × 66 mmのクリアアパーチャー - 静電容量式センサーによる最高の直線性 - 計測技術 - 干渉計 - フォトニ クス/集積光学系 - リソグラフィー - ...
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ストローク: 32 mm
... - 幅わずか32mm、高さ8mm - 分解能0.75 µradのイ ンクリメンタルエンコーダによる直接位置測定 - 最小3 µradまでのイ ンクリメンタルモー ション - 360°以上の 回転範囲 - 速度45°/秒 製品概要 ピエゾ慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を持つ、省スペースで手頃な価格のピエゾベースのドライブです。イナーシャドライブの原理は、特殊なドライバ電子機器から供給される修正された鋸歯状電圧で制御される単一の圧電アクチュエータに基づいています。アクチュエーター ...
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... モー ションプラットフォーム直径 低背 偏心と平面度 < 100 nm 磁気予圧による静止時の自己ロックオプ ション 製品概要 PIglide RLシリーズの直接駆動式薄型 回転 ステ ージは、薄型設計で最高の精度を実現します。様々なオプ ションを組み合わせることにより、ポイントツーポイントインデキシ ングや等速スキャ ニングに理想的なソリュー ションを作り出すことができます。RL ステ ージは、優れた移動精度、平面度、ふらつき性能を提供します。 3相トルクモーター ブラシレス スロットレス 低コギ ングトルク ...
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... 200°/s DC、BLDC、 ステッピ ングモーター 方向感知リファレンススイッチ 真空対応のバリエ ーションあり リファレンスクラス 回転 ステ ージ ウォームギアによる高精度位置決め。プリロードピボットベアリ ングによる高い振れ精度35 mm Øのクリアアパーチャ。 ...
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... します。 アクセサリーとオプ ション イ ンクリメンタルまたはアブソリュートエンコーダ PIglideフィルターおよびエア供給キット 単軸または多軸モー ションコントローラおよびサーボドライブ 多軸/カスタマイズセットアップ 花崗岩製のベースプレートと振動低減シ ステム 応用分野 トモグラフィ、ビームラインシ ステム、ウェハ計測、ウェハ検査、計測技術、検査シ ステム、キャリブレー ション、スキャ ニング 摩擦のない動きにより、パーティクルが発生しないため、PIglide ステ ージはクリーンルーム用途に理想的 ...
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... スイッチ 標準クラス 回転 ステ ージ ウォームドライブ開口部20 mm Ø. 基準スイッチ. 特に真空環境での使用に適したアウトガスの低減 ガイドとスピンドルの潤滑には、特にアウトガスの少ない材料を使用しています。これにより、80℃までのベークアウトが可能です。 高真空環境での用途に適した高品質 この場合、モーター、測定シ ステム、リミットスイッチなど、高真空に適した特別な部品が使用されます。さらに、表面はコーティ ングされていないアルミニウム製で、スピンドルとガイドは ステンレス製です。これにより ...
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ストローク: 5, 2.5 mm
速度: 200 mm/s
繰返し精度: 0.25 mm
... 回転範囲（θX、θY） ±1°まで プラットフォーム直径 250 mm 全高 60 mm 製品概要 A-523は、ダイレクトドライブ搭載のエアベアリ ングZチップ/チルト ステ ージです。パラレルキネマティック多軸シ ステムとして設計され、このプラットフォームはZおよびチップ/チルトモー ションに使用できます。この ステ ージは、超高精度をミニチュアサイズで提供します。非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモー ションプラットフォームが実現しました。 A-523を ...
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