Physik Instrumenteの技術ポジショニングステージ

ストローク: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
繰返し精度: 5 µm

... リサーキュレーティ ングボールガイドは、高負荷容量と高動力設計です。モータの高分解能により、トラッキ ング性能の向上、トラッキ ングエラーの低減、セトリ ングタイムの短縮を実現しています。 同期サーボモーター 位置決め精度が高く、広い回転速度範囲で高い過負荷耐量を発揮します。高トルクと低慣性は、ドライブの高いダイナミ クスを保証します。これらのモータの長寿命、高性能、および堅牢性により、産業オートメ ーション・アプリケ ーションで優れた結果を得ることができます。 ステッピ ングモーター 強力で低振動の2相 ステッピングモーター ...

ストローク: 102 mm - 407 mm
速度: 0.3 m/s
繰返し精度: 1 µm

... お客様の中央潤滑シ ステムに組み込むことも可能です。側面のカバーストリップとパージエアコネクターにより、パーティクルによる汚染を防止します。 先駆的な設計 L-417シリーズのリサーキュレーティ ングボールガイドは、高負荷容量と高動力設計です。モータの高分解能により、トラッキ ング性能の向上、トラッキ ングエラーの低減、セトリ ング時間の短縮が可能です。 オプ ション 保持ブレーキ ...

ストローク: 25 mm
速度: 0.02 m/s
繰返し精度: 0.15, 0.2, 1 µm

... - 分解能0.1 µmの高精度リニアエンコーダ内蔵 - 最小イ ンクリメンタルモー ション0.2 µm - 循環式ボールねじによる高速性と長寿命 イ ンクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式リニアエンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。 応用分野 光学アライメント精密オートメ ーション ...

ストローク: 250, 170 mm
速度: 0.7, 0.6 m/s
繰返し精度: 0.1, 0.05, 0.15 µm

... 1nmのイ ンクリメンタルリニアモー ション 高精度位置エンコーダオプ ションイ ンクリメンタルおよびアブソリュート測定 コンパクトサイズ：80mm×25mm断面 高負荷容量と高い幾何学的性能を実現するクロスローラガイド アイアンコアおよびアイアンレス3相リニアモータを選択可能 リニアモータと超薄型設計のコンパクトな直線移動 ステ ージ 高精度リニア・モーター・ ステ ージのV-508ファミリーは、非常にコンパクトな薄型パッケ ージで高速性と高精度を提供します。これらのクローズドループ電動ナノ位置決め ステージは、高性能 ...

... モー ションプラットフォーム直径 低背 偏心と平面度 < 100 nm 磁気予圧による静止時の自己ロックオプ ション 製品概要 PIglide RLシリーズの直接駆動式薄型回転 ステ ージは、薄型設計で最高の精度を実現します。様々なオプ ションを組み合わせることにより、ポイントツーポイントインデキシ ングや等速スキャ ニングに理想的なソリュー ションを作り出すことができます。RL ステ ージは、優れた移動精度、平面度、ふらつき性能を提供します。 3相トルクモーター ブラシレス スロットレス 低コギ ングトルク ...

... 200°/s DC、BLDC、 ステッピ ングモーター 方向感知リファレンススイッチ 真空対応のバリエ ーションあり リファレンスクラス回転 ステ ージ ウォームギアによる高精度位置決め。プリロードピボットベアリ ングによる高い振れ精度35 mm Øのクリアアパーチャ。 回転方向は無制限。非接触リファレンススイッチL-511リニア ステ ージとL-310 ...

... します。 アクセサリーとオプ ション イ ンクリメンタルまたはアブソリュートエンコーダ PIglideフィルターおよびエア供給キット 単軸または多軸モー ションコントローラおよびサーボドライブ 多軸/カスタマイズセットアップ 花崗岩製のベースプレートと振動低減シ ステム 応用分野 トモグラフィ、ビームラインシ ステム、ウェハ計測、ウェハ検査、計測 技術、検査シ ステム、キャリブレー ション、スキャ ニング 摩擦のない動きにより、パーティクルが発生しないため、PIglide ステ ージはクリーンルーム用途に理想的 ...

ストローク: 305 mm
速度: 0.2 m/s
繰返し精度: 0.1, 0.25 µm

... クロスローラガイドは、高い案内精度と負荷容量も特徴です。フォースガイド式転動体保持器は、保持器のクリープを防止します。 イ ンクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式リニアエンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非線形性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。 応用分野 医療産業レーザー切断スキャ ニングバイオテクノロジー測定 技術AOI（自動光学検査）レーザー転写 ...

ストローク: 50, 25 mm
速度: 10 m/s
繰返し精度: 1 µm

... 価格重視のアプリケ ーション向けXY ステ ージ 精密 ステッピ ングモーター クロスローラガイド リミットスイッチとリファレンススイッチ（ホール効果） 価格重視のOEM市場向けXY ステ ージ M-971は、検査、リソグラフィー、バイオメディカルエンジニアリ ングなどのシ ステムに組み込まれ、光学顕微鏡用に最適化されています。価格に敏感なOEM市場の要求を満たすために特別に開発されました。実績があり、コストを最適化したコンポーネントがその基盤となっています： 複数の短いクロスローラーガイドを含むガイドの設計 ...

繰返し精度: 1 µm
積載量: 4 kg

... します。 XYZシ ステムをセットアップするために、A-143にはブレーキとカウンターバランスを含む垂直取り付けオプ ションが用意されています。 アクセサリーとオプ ション PIglideフィルターおよびエアプレパレー ションキット 単軸および多軸モー ションコントローラー 垂直取り付け用ブレーキと空気圧カウンターバランス付きモデル 応用分野 この ステ ージは、計測、検査、ファイバー位置決め、光学位置決め、スキャ ニング、パターン形成など、多くの高精度かつ高ダイナミックなアプリケ ーションに最適です。潤滑不要 ...