SmarActのダイレクトドライブポジショニングステージ

ストローク: 25 mm
速度: 350 mm/s
繰返し精度: 40 nm

... SMARSHIFT MLS-3252は、電磁 ダイ レク トド ライブを搭載した小型精密リニア ステ ージです。そのコンパ クトなサイズは、既存シ ステムへの統合を容易にし、アプリケ ーションに十分なスペースを確保します。SMARBOTICモジュラーシ ステムとの互換性により、CLSシリーズや他のSmarAct ポジ ショナと簡単に組み合わせることができます。 アプリケ ーション MLS-3252は、マイクロアセンブリ、ピックアンドプレース作業、接着工程におけるコンポーネントのア ライメントや調整など、工業生産における要求の厳 ...

ストローク: 38 mm
速度: 750 mm/s
繰返し精度: 40 nm

... SMARSHIFT MLS-5282 は、電磁 ダイ レク トド ライブを搭載した高精度リニア ステ ージです。そのコンパ クトなサイズは、既存シ ステムへの統合を容易にし、アプリケ ーションに十分なスペースを残します。SMARBOTICモジュラーシ ステムとの互換性により、CLSシリーズや他のSmarAct ポジ ショナと簡単に組み合わせることができます。 アプリケ ーション MLS-5282は、マイクロアセンブリ、ピックアンドプレース作業、接着工程におけるコンポーネントのア ライメントや調整など、工業生産における要求の厳しい ...

ストローク: 65 mm
速度: 900 mm/s
繰返し精度: 40 nm

... SMARSHIFT MLS-92122 は、電磁 ダイ レク トド ライブを搭載した高精度リニア ステ ージです。そのコンパ クトなサイズは、既存シ ステムへの統合を容易にし、アプリケ ーションに十分なスペースを確保します。SMARBOTICモジュラーシ ステムとの互換性により、CLSシリーズや他のSmarAct ポジ ショナと簡単に組み合わせることができます。 アプリケ ーション MLS-92122は、マイクロアセンブリ、ピックアンドプレース作業、接着工程におけるコンポーネントのア ライメントや調整など、工業生産における要求の厳 ...

ストローク: 300, 200 mm
速度: 200 mm/s
繰返し精度: 100, 200 nm

... 400は、2つの移動オプ ションを備えた電磁 ダイ レク トド ライブXY ステ ージです。最初のオプ ションは、最大300 mmの大きな移動範囲を提供します。もう1つは、精度を高めるために移動範囲を200mmに抑えたものです。どちらのバー ジョンも、25mm×25mmグリッドの標準光学ブレッドボードに取り付けることができます。 MLL-400は、電磁トリポッドのベースとしても使用できます。 アプリケ ーション MLL-400は、マイクロアセンブリ、ピックアンドプレースプロセス、ワークア ライメントなど、工業生産における ...

ストローク: 102 mm - 405 mm
速度: 2,000 mm/s
繰返し精度: 45 nm

... SMARSHIFT MLL-82は電磁式 ダイ レク トド ライ ブポ ジショナーです。 ポジ ショナーは100mm単位で長さ調整が可能です。 MLSシリーズの ステ ージと簡単に組み合わせることができます。 写真は ...

... MR-9224は、電磁 ダイ レク トド ライブを採用したコンパ クトな回転 ステ ージです。妥協のない精度と高速性、寿命が特徴です。コンパ クトなサイズと25 mmの開口部により、既存シ ステムへの統合を簡素化し、アプリケ ーションに十分なスペースを確保します。MLS-92122およびSMARBOTICモジュラーシ ステムとの互換性により、CLSシリーズや他のSmarAct ポジ ショナと簡単に組み合わせることができ、最大限の柔軟性を発揮します。 アプリケ ーション MR-9224回転 ステ ージは、マイクロアセンブリ、ピックアンドプレース ...

... SMARSHIFT MR-30028回転 ステ ージは、直径300mm、大口径110mmの大面積回転 ステ ージです。高速、高トルク、長寿命を特徴とし、妥協のない精度を実現しています。コンパ クトな設置面積と薄型のため、既存シ ステムへの組み込みが容易で、アプリケ ーションに十分なスペースを確保できます。 アプリケ ーション MR-30028ロー テータは、ウエハ回転 ステ ージとして特別に設計されています。最大300mm（12インチ）ウェーハ用のプラットフォームとして、計測法（反射率法、反射分光法、分光エリプソメトリ ...

ストローク: 12 mm

... ブレッドボードアダプターを含むシ ステムを紹介します。また、 ダイ レクトマウントをご希望の場合は、ブレッドボードアダプターなしのシ ステムもご用意しています。これらの事前定義されたシ ステムをベースに、カスタマイズされた接続エレメントやカスタマイズされた ステ ージと組み合わせることで、非常に複雑なシリアル・ ポジショニング・シ ステムを実現することができます。その一部を以下のペ ージでご紹介します。以下のペ ージに掲載されていない特別な構成を必要とするアプリケ ーションがある場合は、当社のアプリケ ーションスペシャリストに遠慮なくご ...