回転ポジショニングステージ MR-30028

閉ループ-翻訳中-ダイレクトドライブ

SMARSHIFT MR-30028回転ステージは、直径300mm、大口径110mmの大面積回転ステージです。高速、高トルク、長寿命を特徴とし、妥協のない精度を実現しています。コンパクトな設置面積と薄型のため、既存システムへの組み込みが容易で、アプリケーションに十分なスペースを確保できます。 アプリケーション MR-30028ローテータは、ウエハ回転ステージとして特別に設計されています。最大300mm（12インチ）ウェーハ用のプラットフォームとして、計測法（反射率法、反射分光法、分光エリプソメトリ（VASE）など）または製造法（ウェーハボンディング、EUVリソグラフィなど）に使用できます。その他の応用分野としては、フォトニクス産業や天文学における重い物体の光学アライメントがあります。 仕様 最大荷重法線力 [N] - 1000 寸法 [mm] - ↪So_2300 × 28 重量 [g] - 5000 開口 [mm] - 110 材質 ベース素材 - アルミニウム、黒アルマイト処理 オープンループ 角速度 [°/s] - 540 - クローズドループ センサータイプ - S センサー分解能 [μ - <1 角速度 [°/s] - 540