回転ポジショニングステージ SR-3211

圧電閉ループ真空対応

SR-3211回転ステージは、CLS-32シリーズのリニアピエゾステージに簡単に取り付けられるように設計されています。 また、超高真空対応や完全非磁性バージョンなど、さまざまなオプションをご用意しています。 メカニカル 移動量 [∞]×1 ブロッキングトルク [Ncm]≧ 2 最大ノーマルフォース [N]3 寸法 [mm]32 x 32 x 11 重量 [g]35 開口部 [mm]--。 開放型 角速度 [°/s]～15 開放型分解能 [μ]<4 閉ループ センサータイプL, S 閉ループ分解能 [μ]25 オプション 材質オプションアルミニウム（標準）、スチールベース（-ST）、チタンベース（-TI）。 性能オプション高いブロッキングトルク