回転ポジショニングステージ SR-2013

閉ループ真空対応高精度

SR-2013は、当社最軽量のクローズドループ回転ステージです。内蔵されたセラミック精密軸受が、超高精度と超低ラジアル・ランアウトを実現しています。 また、超高真空対応や完全非磁性バージョンなど、さまざまなオプションが用意されています。 メカニカル トラベル [ - ∞ ブロッキングトルク [Ncm]≧ 0.5 最大。ノーマルフォース [N]3 寸法 [mm]22.5 x 20 x 10.2 重量 [g]11 開口部 [mm]--。 開放型 角速度 [°/s]～45 開放型分解能 [μ]<4 クローズドループ センサータイプ - S クローズドループの分解能 [μ 25 オプション 材質オプションアルミニウム（標準），スチールベース（-ST），チタンベース（-TI）。 性能オプション