回転ポジショニングステージ SR-2013

高精度-翻訳中-真空対応

SR-2013は当社最軽量のクローズドループ回転ステージです。内蔵のセラミック精密ベアリングが、超高精度と極めて低いラジアル振れの理由です。 超高真空対応や完全非磁性バージョンなど、様々なオプションもご用意しています。 メカニカル トラベル [∞] ≥ 0.5 ブロッキングトルク [Ncm]≥ 0.5 最大法線力 [N]3 外形寸法 [mm]22.5 x 20 x 10.2 重量 [g]11 開口 [mm]--. オープンループ 角速度 [°/s]> 45 開ループ分解能 (H)CU [μ - < 200 オープンループ分解能 MCS2 [μ - 45 オプション 材質オプション アルミニウム（標準）、スチールベース（-ST）、チタンベース（-TI）； 性能オプション 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) 非磁性オプション - 有 (-NM)