リードスクリュー配置システム

繰返し精度: 0.02 mm - 0.1 mm
積載量: 3 kg - 120 kg
速度: 100 mm/s - 4,000 mm/s

... 直線運動XYZステージガントリーロボット多軸位置決めガイドシステムベルト駆動アクチュエータ ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション プログラミングサービス OEMまたはカスタム設計が必要な場合は、こちらをご覧ください - https://www.fuyumotion.com/industry-solution FUYU ...

繰返し精度: 0.005 µm - 4.4 µm
積載量: 5 kg - 25 kg
ストローク: 100 mm - 365 mm

... 8軸位置決めシステム / ゴニオメーター カスタマイズ可能 - 様々な角度から8軸の検査を自動化 - カメラ/センサー/照明を共通の中心点を中心に旋回させる同軸回転システム - ディスプレイの検査に最適 8軸の位置決めシステムにより、さまざまな形状のサンプルや部品の分析・検査が可能です。カメラ／センサーは、試料を挟んで傾けたり、高さを調整したりすることが可能です。また、サンプルキャリアを測定面に対して平行に傾けることで、サンプルの個体差を補正することが可能です。XY ...

繰返し精度: 0 µm - 1 µm
積載量: max 2.0 kg
ストローク: 3 mm - 4 mm

... MP200-5 小型XYZファイデルタポジショニングシステム カスタマイズ可能 - 0.007 µmまでの超高分解能 - 最大位置決め精度（RxおよびRyで±1.5 - 最大20 Nの負荷容量 - 堅牢な自己保持型スライディングスレッドドライブによる0.07 µmまでの微細な動作 - ソリッドベアリングジョイントによる最高の耐干渉性 - すべての自由度を使用して±0.5 µmまで絶対的に一定の繰返し精度 - 5軸制御エレクトロニクス内蔵により非常にコンパクト - ...

繰返し精度: 1.5, 5.5 µm
ストローク: 76 mm
速度: 50 mm/s

... 最小限の施工スペースで歩留まり最大化 EUV露光機の小型化・自動化のための補完的な偏光フィルターとして開発された高精度位置決め装置です。約120×180×31mmという非常に限られたスペースで、既存のウェーハステッパーの露光品質と歩留まりを最大化します。EUVや乾燥・無酸素の純窒素雰囲気など、過酷な環境下での高解像度プロセスにも対応します。 過酷な環境下での精度を最適化 - EUV自動露光装置における小型化に最適 - 最小のスペース（約120×180×31mm）で、既存のウェーハステッパーシステムの歩留まりと解像度を最大化 - ...