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ストローク: 400, 50, 200, 300, 100 mm
速度: 1, 0.5 m/s
繰返し精度: 0.1 µm
... - スキャニングアプリケーションや高精度位置決めに最適 - クリーンルーム対応 - モーションプラットフォームのサイズ 160 mm × 200 mm - 耐荷重100 N PIglide位置決めシステムは、磁気リニアモーター、磁気予圧空気軸受、光学式リニアエンコーダを備えています：非接触で摩擦のない動きにより、最高の精度と信頼性を実現 アクセサリーとオプション - エンコーダ - PIglideフィルターおよびエアプレパレーションキット - 単軸および多軸モーションコントローラ - XYセットアップと個別設定 - ...
ストローク: 50 mm - 1,250 mm
速度: 0 m/s - 0.4 m/s
積載量: 50,000 g - 80,000 g
... 概要
Fuyu Technology Co., Ltd. のFTH14XYZ-T（T型3軸モーションプラットフォーム）は、検査やイメージング用途向けに設計されたボールねじ式の電動リニアアクチュエータ式ステージです。ボールねじ駆動と防塵/半閉鎖型リニアガイドを組み合わせ、最大1250 mmまでの可変ストロークで試験・自動化システムへ組み込み可能です。
用途
- 産業用カメラを用いた電子部品・製品の検査
- 実験用レーダーイメージングおよびアンテナ試験
- 高精度なピック＆プレース、計測、光学検査
主な特徴
- シリーズ:
ストローク: 85 mm - 130 mm
... 製品
- SCANplus 130 x 85
品番
- 48-24-651-0000
主な特長
- 正立顕微鏡用スキャニングステージ
- 移動範囲: 130 x 85 mm
- 駆動: ボールねじ、ピッチ4 mm
- 組込型MR測定システム
- 薄型設計でロー プロファイルに対応
- スライド1枚用ステージインサート付（注文番号:
ストローク: 80 mm - 120 mm
... 製品名
SCANplus IM 120 x 80
部品番号
48-4524-0502-0000
追加情報
- 最高精度を実現する統合リニア測定システム
- 角を丸めた平坦で人間工学に基づくデザイン
- 清掃が容易な滑らかな表面
- 走査ステージとコントローラ間の固定接続ケーブルを内蔵
- 走査ステージの自動識別とコントローラのパラメータ設定を行うETS（電子ステージ識別装置）を内蔵
- Märzhäuser
ストローク: 300 mm
速度: 0 m/s - 80 m/s
繰返し精度: 1 µm - 5 µm
... 説明
オープンフレーム構造の低背型XY回転ステージ。ウェハーのハンドリングや半導体製造プロセスにおける高精度な自動位置決め用途向けに設計されています。XY駆動は筐体側面に配置され、回転テーブル中央の大径貫通穴によりウェハーへ両側からの障害のないアクセスが可能です。開口径や可動量は用途に応じて構成可能です。
主な仕様
- XYステージ型式: XY-OF-300x300J
- 回転ステージ型式: ACR-335UT
- 開口径:
ストローク: 15 mm - 25 mm
コギング無し、ネジ送り機構のないダイレクトドライブ方式の電動XYステージです。ストローク15mmと25mmの機種で展開。エンコーダ分解能5ミクロン標準装備、0.1μmまでオプション対応。高精度の位置決めや高速でのスキャニングに最適です。100％データ集計＆フィードバック機能搭載。寸法計測、品質検査などの用途にも使用されています。