貯蔵マシン
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... サティスローの新型レンズコーティング機は、中型ラボのAR(反射防止)レンズやミラーレンズのコーティングを最速で行うボックスコータを提案します。 中型コータで実現する圧倒的なコーティング性能 MC-380-X-2は、1時間当たり最大82枚のレンズを生産することができます。 有機・無機メガネレンズへの反射防止膜やミラー膜を熱蒸着(PVD)するボックスコーターです。 また、ミネラルレンズへのインチャンバーティント(着色)処理も可能です。 MC-380-X-2は、多層膜のコーティングを一度に行うことが可能です。 MC-380-X-2は、様々な容量やレンズ径サイズに対応するため、豊富なレンズホルダを用意しています。3セクタードーム、フルドーム、リングレスフルドーム、7セクターフリップオーバー、両面処理用高速フリップオーバーシステム(セクタードームからフリップオーバーレンズホルダーへの簡単かつ迅速な交換が可能)。 業界最速のボックスコーター MC-380-X-2は、中型塗工機では最速となるいくつかの特徴を備えています。その一部をご紹介します。 ロータリー式ドライポンプ(オプション)により、ポンプ能力を53%アップ。 マイズナートラップの容量を最大30%アップし、吸湿率を向上。 新しいゲートバルブと組み合わせた超高速ベントオプションにより、ドアからドアまでの処理時間を大幅に短縮しました。 二重熱源により、EBGポケットの2つの位置を解放することにより、第二物質の蒸発を可能にします。 Rxレンズのコーティングプロセス 帯電防止ブロードバンドAR ...
... 光学コーティングシステム380-POは、精密光学部品に様々な種類の薄膜コーティングを成膜するための貴重なプロセスの柔軟性を提供します。直感的で簡単なプロセスセットアップと迅速な生産サイクルスループットにより、一貫性のある洗練された薄膜スタックを実現します。 中・小型オプティクスの生産に最適なクラストップレベルの性能 380-POは、優れた技術的設備と低い所有コストが両立できることを見事に証明しています。ボックスコーターは、ドーム、フリップオーバー、その他の基板ホルダーオプションを装備することができ、プロセスの柔軟性に優れています。高速サイクルタイムにより最適なスループットを実現する380-POは、中型から小型のあらゆる光学部品製造のニーズに対応する完璧な選択肢となります。オプションのドライポンプは、UV/DUVコーティングにも適しています。 柔軟性と効率性 マイズナートラップ水蒸気ポンプによる迅速なサイクルタイム。 高温および低温での基板加熱オプション シングルEBGおよび熱抵抗ソース。 低応力でシフトのないコーティングのための高出力イオン銃(オプション)。 3セクタードーム、フルドーム、フリップオーバーシステムオプション(ご要望に応じて ユーザーフレンドリーなHMIコントロールソフトウェア MES-360 ...
... 光学コーティングシステム380-POは、精密光学部品に様々な種類の薄膜コーティングを成膜するための貴重なプロセスの柔軟性を提供します。直感的で簡単なプロセスセットアップと迅速な生産サイクルスループットにより、一貫性のある洗練された薄膜スタックを実現します。 中・小型オプティクスの生産に最適なクラストップレベルの性能 380-POは、優れた技術的設備と低い所有コストが両立できることを見事に証明しています。ボックスコーターは、ドーム、フリップオーバー、その他の基板ホルダーオプションを装備することができ、プロセスの柔軟性に優れています。高速サイクルタイムにより最適なスループットを実現する380-POは、中型から小型のあらゆる光学部品製造のニーズに対応する完璧な選択肢となります。オプションのドライポンプは、UV/DUVコーティングにも適しています。 ...
... 概要 光学コーティングのための最も革新的な原子層蒸着システム、レイボルド・オプティクスALD 1200を体験してください。プラズマエンハンスド空間ALDにより、最大8x 300 mm基板上の両面超均一膜を実現します。このシステムは、微細構造および曲面3D基板上に、超薄膜、高密度、応力制御されたコーティングをシングルパスで両面成膜します。最大300 mmの基板8枚への高い成膜レート、50~230℃のプロセス温度、および完全にカスタマイズ可能なウェーハハンドリングソリューションにより、クラス最高の適合性と半導体グレードのスループットおよび清浄性を兼ね備えています。 主な利点
- あらゆる面で精密:ナノ構造および曲面3D基板上の超薄膜コンフォーマルコーティング
- 高スループットに最適化:気体の空間的分離により成長率が向上します:
- ニーズに合わせて調整:反転なしの両面コーティングにより、サイクル時間とパーティクルリスクを低減
- 材料の敏捷性:コスト効率の高いスケーリングのための効率的なプリカーサー利用による高い材料柔軟性
- その場での光学モニタリング:OMS
... 物理的気相成長法(PVD)は、ウェハー表面に導電性、半導体性、絶縁性の材料をコーティングする薄膜プロセスです。PVDには、スパッタリング、蒸着、イオンビーム蒸着といったさまざまな方式があります。KLAでは、スパッタリング技術に基づく製品を提供しています。スパッタリングプロセスでは、「ターゲット」がソース材料となり、プロセスチャンバー内のプラズマからイオンを浴びせます。ソース材料の原子はプラズマ中に放出またはスパッタリングされ、そこで反応が起こり(プロセスガスの混合に依存)、その後ウェーハ表面に凝縮します。SPTS ...
KLA Corporation
... TOPCon太陽電池用トンネル酸化膜、i-PolyおよびD-Polyの成膜。 - 低圧力、ホットウォールプロセスの特徴を有し、膜の均一性、コンパクト性に優れています。 - LPCVDプロセスにより、高密度基板でも成膜速度にほとんど影響を与えず、シングルチューブでの成膜能力が大きい。 - 温度ゾーンが多く、ウェハー間の均一性が高い。 - 独立調整可能なセグメント化されたエアインレットにより、エアフロー減少効果を補正。 ...
Shenzhen S.C New Energy Technology Corporation
... ULCoatは、放電後のプラズマにプリカーサーを注入することで、処理面に薄い膜を形成します。 ULCoatは、プラズマノズルの下にプリカーサを気化して注入するシステムです。ULCoatはOMEGA ULS発生装置と組み合わせて使用されます。 標準ユニットは、有機金属プリカーサーを使用してSiOxを成膜するように設計されています。その他のレシピも開発可能です。 AcXys Technologiesのプロセス開発ラボは、研究開発契約のもと、お客様のニーズを満たすアプリケーションを開発するために、お客様のご要望にお応えします。 ULCoat技術 ...
... MCVDとは、Modified Chemical Vapor Depositionの略称で、改良型化学気相成長法と訳されている。プレハブロッドの製造方法として、1970年代初頭に米国のベル研究所とサザンプトン大学によって提案され、1973年に米国のベル研究所によって発明された。 MCVD装置は、さまざまな種類のプリフォームを準備できる強い柔軟性に鑑み、通信用光ファイバーの高品質プリフォームを製造する4大方式の1つとなり、センシングやレーザー用の特殊光ファイバープリフォームの製造分野でも幅広く応用されています。 MCVD法は、石英管(通称ライナー)の内壁に、より純度の高い二酸化ケイ素(SiO2)を高品質(高純度、低水分、低不純物)で蒸着できる。 ...
... オフライン・ソリューション・ドーピングは、プリフォーム製造・成膜後にプリフォーム内壁のルース層を液相ドーピングするための専用装置です。ベイトドープ、ミラードープなど、様々な希土類元素のドーピングに適しています。それはドーピングの効率および質を改善するために有利である室温から 90 ℃への一定した温度の補助ドーピング環境を実現できます。 このタイプのドーパーは、レーザーファイバーライナーのルーズレイヤーに希土類元素をドープする工程で広く使われています。この工程は、ファイバーの品質を直接左右するドーピングの中でも最も重要な工程です。従来のドーピング工程では、通常、手作業による介入でドーピング濃度が不均一になり効率が悪く、ドーピング環境が悪いとドーピング欠陥につながります。 液相ドーピング装置は、従来のドーピング工程における不安定、低効率、ドーピング濃度不均一、局所的なドーピング欠陥などの望ましくない品質問題を解決し、ファイバーレーザーやファイバーセンサーを製造する企業のドーピング工程に最適な選択肢となります。 ...
... 最新のRocklinizer® Model 950は、ベース材料にわずか0.0001インチ〜0.010インチ以上を堆積し、正確なアプリケーションのためのデジタルマシン設定によって0.0001インチ以内に制御可能です。 Rockhard電極と組み合わされた高い設定により、特にチューブ曲げダイ、コレット、クランプ、フィードフィンガー、さらにはフォークリフトや滑り止めフローリングなど、把持用途に適した粗い表面が得られます。 中程度の堆積物は、ベアリングとシャフトの公差を復元し、熱チェック、はんだ付け、およびコアの押収を防止するダイキャスターに最適です。 ...
... ローターアプリカーター付きロックライザーモデル850 / 850E-単一のアプリケーションで.0002インチから.007インチまでの堆積物。機械の設定によって制御可能です。 約 30ポンド(13.2kg)。 Model 850ロータリーアプリケータは、電極がワークピースに接触するか、オペレータが手動でトリガすると自動的にトリガされます。 高速 アプリケーションロータリーアプリケーター デジタル読み出し タッチパネルコントロール ポータブル ...
... Rocklinizer® micro (特許出願中) は、史上初の電池式超硬アプリケーターです。完全にポータブルなユニットは、生産性を最大化し、コストを最小限に抑えることができます。何十年にもわたる実績のある技術に基づいて構築された同社独自のRocklinizer®火花蒸着プロセスは、金属、工具、および金型に非常に硬く、耐摩耗性の高いコーティングを施し、以下のような効果をもたらします。 - 機械の寿命を延ばす - ダウンタイムをなくす - 設備投資の遅延 - 在庫の削減 - グリップの最適化 パワフルなリチウムイオンバッテリーは、1回の充電で約3時間の使用が可能で、30分で急速充電が可能です。また、10ポンド(4.5キロ)のユニットは、連続使用のために接続したまま使用することもできます。電極材料は、LED電源ダイヤルを調整し、回転式アプリケーターをトリガーすることで、.003"(75ミクロン)まで正確に制御された堆積物を達成するために堆積されます。 ...
... Battelle 組織が実施した調査では、抗菌表面と防菌コーティングが家庭用品における重要な技術的ブレークスルーになると予測しています。住宅所有者は、キッチンやバスルームの表面を長持ちさせる新しいクレンザーを探しています。 利点 高い抗菌効果と持続性 低生産コスト グリーンコーティング技術 耐スクラッチ性 耐食性と耐摩耗性 アプリケーション SSシンク、SS家庭用品などのキッチン用品 SS食器:スプーン、フォーク、ナイフ ...
Shanghai Royal Technology Inc.
... RTFCVマシンは、さまざまなハードコーティング、ソフトコーティング、複合膜、固体潤滑膜を金属および非金属材料の基板に堆積できるバッチモデルのスパッタリングシステムです。水素燃料電池車、フォトニック製品、航空宇宙およびその他の新エネルギー産業の産業に適用されます。 蒸着膜の性能: 表面の導電性を向上させるために; 高い耐食性; 高い耐摩耗性; 高硬度 疎水性組成物フィルムおよびその他の機能性フィルム 複合コーティングで利用可能:金属および非金属フィルム。 100nmから12μmまでの膜厚範囲、厚さ許容差±5% ...
Shanghai Royal Technology Inc.
... 装飾的なハードコーティングは、魅力的な色や高い耐摩耗性など、さまざまな要件を満たす必要があります。時計の部品、筆記具、眼鏡などの高級消費財の場合、PVDの高い耐摩耗性と「高品質」のイメージを製品に提供する「ゴールドプレート」ラベルの両方を維持したいメーカーもあります。したがって、3〜5μmの金メッキ層を(TiN + Au)PVD層に堆積させる必要があります。この多層法は、接着欠陥につながる高レベルの内部応力を作り出します。接着不良につながる内部応力を低減するために、完全なプロセスを設定する必要があります。 Royal ...
Shanghai Royal Technology Inc.
... 本装置は、TOPConセル用のin-situ酸化膜・ポリ膜形成装置であり、再結合率を向上させることで電子の選択的捕獲を可能にします。 仕様 ハイスループット:4,702枚/時(640枚/艇) サイクルタイム:49分 アップタイム:97 ...
HANWHA MACHINERY
... 最高の資本効率と設置面積の節約により最先端の性能を実現 VeecoのEPIK® 868は、LED業界で最高の性能を発揮するMOCVDシステムで、欠陥の少ない優れた均一性と再現性を実現します。4台リアクター構成で使用可能なEPIK 868は、独自のIsoFlange™やTruHeat™などの画期的なテクノロジーを特長としています。これらのテクノロジーにより、ウエハ キャリア全体で層状の流量と一様な温度プロファイルを実現できます。これらの技術革新により、miniLEDおよびmicroLEDに求められる歩留まりが向上します。EPIK ...
VEECO
... キャンディ・グミ・デポジターは、グミ、キャンディ、チョコレートを正確にデポジットするための高速ソリューションです。柔軟性と使いやすさを念頭に設計され、一貫したポーションコントロールが可能で、食品・製菓業界にとって貴重な資産となっています。 - マルチ・ノズル・システムによる同時充填。 - 温度とデポジット量を調整可能 - 直感的なタッチスクリーンでレシピ管理が簡単。 - ゼラチンやペクチンのグミ、キャンディ、小型チョコレートの製造に最適。 - 精度を維持しながら生産能力を高め、小ロットから大量生産まで対応。 ...
... 製品紹介 化学蒸着システムの機能は、基板上に薄膜を蒸着し、材料特性を向上させ、機能性デバイスを製造し、表面改質を達成し、薄膜の厚さを正確に制御し、製品の品質を向上させ、新材料の研究開発を支援し、集積回路製造などに使用することであり、高いプロセス制御性、大規模生産が可能であり、場合によっては低コストであるという利点がある。 ...
... PLATIT Pi411 PLUSは、モジュール設計と幅広い利用可能な技術により、世界で最もフレキシブルなPVDコーティングユニットです。ドアに3つの回転カソードを備えたアークコーティングユニットとしての基本構成は、現場でモジュール化することができます。アークまたはスパッタリング中心カソード、PECVD、OXIプロセスへのアップグレードも可能です。また、このコーティングユニット独自のLACS®ハイブリッド技術は、アークとスパッタの同時コーティングを可能にします。 複数の構成オプションと回転カソードに基づく高い柔軟性により、最高レベルの性能でカスタマイズされたPVDコーティングを開発することができます。このコーティングユニットは、技術的な妥協を許さず、最高の柔軟性と性能を重視するお客様に最適です。 テクノロジー PLATIT ...
PLATIT AG
... 多機能R&Dクラスター・ツール SAF アプリケーション 多機能R&DクラスターツールSAF25/50は、薄膜技術分野における研究開発、フィージビリティ・スタディ、一般的な学術研究を対象としています。 エンジニアリングとテクノロジー このツールは、多機能、拡張可能、モジュール式、フレキシブルなシステムです。イオン銃付き入出力チャンバー、ラジアル伸縮式搬送アーム付き中央基板搬送チャンバー、最大7つの蒸着チャンバーから構成されています。基板はホルダー上に水平に配置される。蒸着ゾーンは、上向き蒸着中に基板が回転または変位するように構成されています。 ツールの多機能性と柔軟性は、以下の主な特徴に基づいています: - ...
Sidrabe Inc.
... LEYBOLD OPTICS ECS 1350は、ストックレンズAR、ミラーファッション、RXレンズの大量生産に対応し、大量一括生産と使い易さ、低所有コストを提供します。 ...
Bühler Leybold Optics
... ハードコーティング装置は、超高硬度の膜をめっきするために特別に開発された装置です。金型、工具、ナイフなどの産業に適しており、表面により耐摩耗性、耐腐食性のある膜を得ることができ、工具の使用性を向上させることができます。ナイフの耐用年数は3~10倍、金型の耐用年数は5~10倍になります。 ...
Powertech
... Infinity IBDシステムは、高密度・低欠陥の薄膜を極めて高い精度と均一性で実現します。また、イオンエネルギーの独立制御が可能なため、フレーキングによる汚染が極めて少なく、正確な薄膜スペックを実現することができます。 バイアスターゲットスパッタモジュールは、薄膜界面の制御に優れ、イオン電流とエネルギーの独立した制御が可能で、低圧で動作します。これにより、ビームのオーバースピルによる汚染や散乱を排除し、表面損傷を防ぎ、厳密な応力制御を可能にし、高密度で欠陥のない薄膜を形成することができます。 BTSモジュールは、ターゲット全体のサイズを小さくすることができるターゲット使用率の向上により、所有コストを改善します。システム設計により、大型基板上でも回転することなく優れた均一性を実現します。このモジュールは、他のIBDプラットフォームと比較して、パルススパッタリングと高い成膜レートを提供します。 これらのユニークな機能と利点はすべて、デントンの長期的なパートナーシップとサービスへのコミットメントに支えられています。デントンのエキスパートが、お客様のニーズや仕様に合わせた信頼性の高い構成を提案し、高いシステム稼働率と容易なメンテナンスを実現します。 酸化バナジウムマイクロボロメータ 精密光学部品(レーザー、赤外線検出器) VCSEL反射防止膜 高効率太陽電池 磁気記録用スピンバルブ フォーカルプレーンアレイ サーマルイメージング レーザーバーファセット ...
Denton Vacuum
... ラボテスト、プロトタイプ、少量生産に最適です。 コンパクトで効率的な構成です。 最適です。 小型プリント基板およびセンサー(例:電子機器、医療用アプリケーションなど) 最大ø 150 mm (6インチ)までのウェハー 全体寸法(長さ×幅×高さ) - 1600×1300×1600mm 重量 - 200 kg チャンバーサイズ - φ250 x 264 mm ツールサイズ - ∅ 226 x 240 mm 工具最大積載質量 - 30kg ダイマー負荷容量 - 90g ポンプ容量 - 25 m3/h 必要電源 ...
COMELEC
... 生産実績のあるTitan Deposition は、真空カセットエレベータを備えた積載ロックされた堆積システムです。 PECVD、HDCVD、PVD、またはALD 用に設定できます。 Titan Deposition は、革新的で最先端のプロセスを小さなフットプリントで手頃な価格で提供します。 SiOx、SiNx、SiC、a-SiSiの再現性の高い堆積のために、標準的な生産プロセスが開発されています。 迅速なプロセス開発における25 年以上の経験に裏打ちされています。 システムの特徴: PLCおよびタッチスクリーン制御 静電、または機械的チャック アクティブ基板温度制御 真空カセットエレベーター (オプション)レーザー、光学エンドポイント ...
Trion Technology
... 直流マグネトロンスパッタリング成膜装置 製品の説明 システム概要 マルチアークイオン&スパッタリングコーティングは、幅広い色で成膜することができます。成膜プロセス中に反応性ガスをチャンバー内に導入することで、色の幅をさらに広げることができます。装飾コーティングに最も広く使用されている反応性ガスは、窒素、酸素、アルゴンまたはアセチレンです。装飾コーティングは、コーティング中の金属とガスの比率およびコーティングの構造に応じて、特定の色の範囲で製造される。これらの要因の両方は、蒸着パラメータを変更することによって変化させることができる。 蒸着の前に、部品は、表面に埃や化学的不純物がないように洗浄されます。コーティングプロセスが開始されると、関連するすべてのプロセスパラメータが連続的に監視され、自動コンピュータ制御システムによって制御されます。 ...
... 概要
iMLayer は、iMScope イメージング質量顕微鏡や MALDI‑7090 などの解析プラットフォーム向けに、MALDI‑MS イメージング用の前処理(マトリックス塗布)を行うマトリックス蒸着システムです。蒸着法を採用することで、細かいマトリックス結晶粒を生成し、高い空間分解能を実現します。自動制御により、ユーザーが設定した塗布厚を再現性よく実現できます。
特長
- 蒸着法により細かいマトリックス結晶粒を生成し、空間分解能を向上
- 塗布厚の自動制御により再現性を向上
- タッチパネルによる直感的な操作
用途
Documents ...
... プラズマ重合によって真空中で製造・塗布されるさまざまな有機薄膜のうち、いわゆる「パリレン」コーティングは、ほぼすべての酸、アルカリ、有機溶剤に対する特別な化学的耐性と、水蒸気拡散に対する優れた耐性によって、腐食防止コーティングとして特に重要視されています。パリレンという名称は、化学的に正しい名称であるポリパラキシリレンの一般的な略称となっており、他のプラスチックやラッカーコーティングとは一線を画す、非常に優れた特性を有しています。 パリレンの応用分野はほぼ無限大です。産業界における単純なシール、パイプ、容器から、プリント回路基板、センサー、飛行制御システムなど、あらゆる種類の繊細な電気部品まで、その範囲は広い。また、パリレンは生体適合性があるため、補聴器、カニューレ、インプラント、プローブ、内視鏡など、医療技術分野でも非常に人気があります。 また、耐薬品性に優れているため、皮下注射針、カテーテル、インプラント、ペースメーカーなど、体液に触れる医療機器にも好んで使用されています。また、生理的無害性から、アレルギーを引き起こす可能性のあるメガネ部品や、肌荒れを引き起こす可能性のある時計などの宝飾品へのコーティングにも適しています。 ...
... 高効率結晶シリコン電池のプロセスにおける緻密なアルミナやその他のバックパッシベーション膜材料の成長に適している。 様々な膜を連続的に切り替えます; ボートを押す機構を両端でサポートし、ジッターをなくし、速度を向上させ、負荷を増加させ、信頼性を大幅に向上させる(特許)。ボートの出入り時間は20秒以内(ボートの離脱を除く); 特殊形状の二重炉扉機構により熱損失を低減(二重炉扉構造特許); グラファイトボート電極技術:電気電極の表面接触、前後の電極を補い、尾電極は炉管の外で調整可能; 急速冷却炉体:最新の特許技術を採用し、炉体温度を必要な温度まで迅速に下げることができ、冷却速度を25%以上向上させ、炉管内の温度均一性を大幅に改善します; 特許を取得したボート収納位置の平行放熱モード:冷却効果を向上させ、冷却時間を15%以上短縮させ、コンソールの前面から底部と吸気口を避け、コンソールの内部清浄度を向上させる; 石英管補助吊り具:石英管の取り付け、メンテナンス、交換の難易度を大幅に下げる; 間接プラズマより膜のコンパクト性が高い; ...
Han's Laser Technology Co., Ltd
... 充填密度をコントロールした薄膜コーティングを実現するプレミアムシステム。 概要 できること ナノ粒子を用いて機能的なコーティングを行う(濡れ性、反射性、生体適合性、導電性、結合性などを変化させる)。 空気とバッファの界面にモデル細胞膜を形成し、細胞膜に対する毒素や医薬品の影響を研究する。 ポリマー薄膜を形成し、ポリマーの架橋、安定性、劣化などを研究する。 両親媒性分子の相互作用、吸着、脱着、界面安定性、構造の研究 フィルムの安定性、相転移、反応を調べるための界面レオロジー研究 テクノロジーの利点 LangmuirおよびLangmuir-Blodgettテクノロジーには、世界中でこのメソッドが広く使用されているユニークな利点があります。 ...
Biolin scientific