Módulo de controle para wafers VULCANO XY

de 2 eixos

O sistema VULCANO XY é um sistema de três peças que permite uma solução compacta e econômica, acoplada a rolamentos mecânicos e codificadores ópticos de alta qualidade. A placa base dos eixos inferiores (Y1 e Y2) é composta por 2 motores lineares ironcore, controlados em modo pórtico, quando utilizados com controladores AccurET, para permitir uma melhor repetibilidade e eficiência de controle ideal. O eixo superior (X) é composto por um único motor linear de núcleo de ferro. O uso da tecnologia ironcore oferece uma alta densidade de força, resultando em alta aceleração e velocidade, mantendo a temperatura de operação em um nível bastante baixo. A placa base do eixo superior (X), que também contém o motor dos eixos inferiores (Y1 e Y2) é feita de alumínio para otimização de massa e dinâmica. A expansão térmica é feita através de elementos de flexão. Características - Pegada compacta - Estabilidade de posição do nanômetro - Curto movimento e tempos de liquidação - Alta dinâmica - Alta repetibilidade bidirecional - Alta estabilidade de posição - Compatibilidade ISO classe 1 com salas limpas