Módulo de controle para wafers VULCANO XYT

de 3 eixos

A plataforma VULCANO XYT é composta pelo módulo rotativo padrão VULCANO XY equipado com o módulo rotativo RTTB, que inclui encoder de alta resolução acoplado a um excelente rolamento mecânico. O uso desta plataforma é adequado para, mas não limitado a: - Aplicações de Controle de Processo de Wafer como Metrologia de Sobreposição, Dimensão Crítica e Metrologia de Filme Fino - Back-end: processos de flip-chip específicos feitos em grandes painéis/substratos Características - Pegada compacta - Estabilidade de posição do nanômetro - Curto movimento e tempos de liquidação - Alta dinâmica - Alta repetibilidade bidirecional - Alta estabilidade de posição - Compatibilidade ISO classe 1 com salas limpas