Módulo de controle para wafers VULCANO XYZ3TH

de 6 eixos

A plataforma de VULCANO XYZ3TH é composta do XY padrão de VULCANO equipado com o módulo combinado Z3TH. Estes 4 graus de módulo da liberdade, fornecem a rotação da teta 364°, Z-machados dobro, grosseiro para a bolacha que carrega e que descarrega, e fino para o ajuste do foco, assim como uma correção da ponta e da inclinação sobre ±0.1°. Características - Pegada compacta - Estabilidade da posição do nanômetro - Dinâmica alta: 2,5 g, 1,5 m/s - Baixos tempos do movimento e de acordo - Quarto desinfetado ISO1 compatível - Correção da Ponta-inclinação sobre ±0.1° - Integração dobro de Z - Compensador incorporado da gravidade em Z - Retidão proeminente de Z - Repetibilidade aumentada e tremor de Z - Capacidade para corrigir o nivelamento da fase - Fonte incorporado do vácuo a nível do mandril