Liga de molibdênio

Visão geral
Componentes e peças sobressalentes para a linha de feixe de implantadores iónicos destinados à produção de semicondutores, projetados para resistência a altas temperaturas, pureza de material e estabilidade do processo. Fabricados em metais refratários, grafite técnico e cerâmicas, conforme geometrias OEM ou segundo padrões otimizados Plansee.

Vantagens principais

• Décadas de experiência na fabricação de componentes para semicondutores
• Produção segundo especificações OEM ou Plansee Advanced Standard (PAS)
• Controlo rigoroso da pureza dos materiais e das dimensões
• Rede global de produção e fornecimento para peças críticas

Propriedades do produto

• Resistência a altas temperaturas (até ≈1.400 °C, dependente do material)
• Resistência a campos electromagnéticos fortes e gases de processo
• Alta pureza e controlo de espessuras para minimizar geração de partículas
• Precisão de fabrico ao nível do micrão para geometrias críticas

Produtos (componentes e peças típicas)

• Câmaras (grafite, tungsténio, molibdénio e ligas)
• Filamentos e elementos calefatores (tungsténio, ligas de tungsténio)
• Palhetas MRS / lâminas e diafragmas (grafite, tungsténio, molibdénio, ligas)
• Suportes, braçadeiras e cátodos (tungsténio, molibdénio, ligas)
• Terminais e peças do analisador (grafite)
• Isoladores e componentes cerâmicos
• Peças sobressalentes gerais (grafite, metais refractários, ligas, cerâmica, aço)

Fabrico e otimização

• Fabrico conforme desenhos OEM ou versões PAS com geometrías e zonas de desgaste otimizadas
• Centros de produção globais (ex.: Japão, EUA, Coreia, China, Índia) para cumprir prazos e requisitos de qualidade
• Usinagem de precisão e controlos de qualidade rigorosos em todas as fases

Vantagens do Plansee Advanced Standard (PAS)

• Instalação e remoção mais fáceis
• Vida útil alargada dos componentes e menos tempos de inatividade
• Menor esforço de limpeza e manutenção
• Otimizações de geometria e material que podem prolongar significativamente a vida de peças críticas (ex.: palhetas MRS PAS)

Compatibilidade — fabricantes / famílias de implantadores (exemplos)

• Applied Materials (9000, 9200, 9500, séries Quantum, séries xR)
• Ex‑Varian (famílias VIISta, VIISion, séries XP/HD)
• Axcelis (famílias GSD / NV / Optima)
• Nissin (famílias NH / PR / EXCEED)
• SEN, Ulvac e outros fabricantes especializados

Materiais & estabilidade do processo

• Materiais: molibdénio, tungsténio, grafite optimizado, cerâmicas técnicas e ligas selecionadas
• Grafites especiais reduzem abrasão e formação de partículas
• Melhorias de projeto (ângulos de palhetas otimizados) reduzem desgaste químico/termal

Especificações técnicas

• Temperatura máxima de serviço: até ≈1.400 °C (dependente do material)
• Materiais: Mo, W, grafite, cerâmica, ligas selecionadas e aço
• Tipos típicos: câmaras, filamentos, palhetas/vanes MRS, suportes, cátodos, terminais, peças de analisador, isoladores, peças sobressalentes
• Precisão: tolerâncias de fabrico ao nível do micrão
• Padrões de produção: especificação OEM ou peças otimizadas PAS
• Sistemas suportados: soluções compatíveis para 100+ modelos/famílias de implantadores