ProdutoSistema de exposição de wafers totalmente automático (mask aligner) para produção de chips LED. Compatível com Micro LED e wafers LED padrão; disponível em duas versões combinadas para wafers de 2–4 polegadas e 4–6 polegadas.
Visão geralDois modelos do sistema de exposição totalmente automático são fornecidos para cobrir diferentes faixas de tamanho de wafer:
- Tipo combinado 2–4 polegadas
- Tipo combinado 4–6 polegadas
AplicaçõesProjetado para processos de exposição de Micro LED e LED em P&D e linhas de produção.
Especificações- Capacidade takt (primeira etapa): 150 peças ou mais por hora
- Capacidade takt (segunda etapa): 130 peças ou mais por hora
- Precisão de alinhamento: ≤ 0,5 μm
Características técnicas- Manuseio automático de wafers e alinhamento de máscara
- Suporte a tamanhos de wafer combinados: 2–4 polegadas e 4–6 polegadas
- Projeto voltado para alinhamento preciso e rendimento conforme especificado