Visão geralProjetado para exposição de vidro em alta definição, este sistema integra um sistema óptico UV otimizado para exposição de padrões finos e um mecanismo de paralelização de alta precisão entre fotomáscara e substrato. Operação totalmente automática com modos de exposição: contato a vácuo, contato suave e gap de proximidade. Configurações vertical e horizontal para diferentes tamanhos de máscara: vertical para máscaras grandes (G5 e superiores), horizontal para G4.5 ou menores.
UsoAdequado para processamento de vidro em linhas de produção FPD (flat panel display), TP (touch panel) e CF (cell fabrication).
Especificação- Tamanho de substrato disponível: G4.5 - G8.5
- Precisão de alinhamento: ±1 μm
- Modos de exposição: contato a vácuo, contato suave, gap de proximidade
Principais características- Sistema óptico UV otimizado para exposição de alta definição
- Mecanismo de paralelização de alta precisão entre fotomáscara e substrato
- Operação totalmente automática com modos de exposição selecionáveis
- Configurações: vertical (recomendada para G5+) e horizontal (recomendada para G4.5 ou menores)
- Projetado para integração em linhas industriais FPD/TP/CF