As fases do scanner de nanoposicionamento SMARFLEX utilizam as vantagens das flexões mecânicas acionadas por piezoeléctricos para realizar tarefas de posicionamento altamente precisas até vários 100 μm.
O PLF3232-x.60 oferece uma gama de varrimento de 60 μm na direção X. Com 30 g, é muito leve e também bastante compacto, com 32 x 32 x 12 mm.
Especificações
Alcance de varrimento [µm] - > 60
Força normal máx. Força normal [N] - 5,0
Dimensões [mm] - 32 x 32 x 12
Peso [g] - 30
Material da base
Material da base - Titânio (-TI) / Base de alumínio (-Al)
Circuito aberto
Resolução em circuito aberto MCS2 [nm] - MCS2: <1
Circuito fechado
Resolução do sensor MCS2 [nm] - MCS2: 1 (S)
Opções
Opções de vácuo - HV (10-⁶ mbar)
Opção não magnética - Sim (- NM)
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