Mesa de coordenadas linear PLF3232-xy.60

XYpiezoelétricade 2 eixos

As fases do scanner de nanoposicionamento SMARFLEX utilizam as vantagens das flexões mecânicas acionadas por piezoeléctricos para realizar tarefas de posicionamento altamente precisas até vários 100 μm. O PLF3232-xy.60 oferece uma gama de varrimento de 60 μm nas direcções X e Y. Com 45 g, é muito leve e também bastante compacto, com 32 x 32 x 20 mm. Combina dois scanners PLF3232-x.60 num só, com menos altura de construção mas com o mesmo desempenho. Devido ao tamanho e ao padrão de orifícios, adapta-se perfeitamente a outros estágios e posicionadores lineares, como o CLS-3232, em que se combinam um longo alcance de deslocação e uma elevada precisão. Especificações Alcance de varrimento [µm] - > 60 Força normal máx. Força normal [N] - 5 Dimensões [mm] - 32 x 32 x 20 Peso [g] - 45 Material da base Material da base - Titânio (-TI) / Base de alumínio (-Al) Circuito aberto Resolução em circuito aberto MCS2 [nm] - MCS2: <1 Circuito fechado Resolução do sensor MCS2 [nm] - MCS2: 1 (S) Opções Opções de vácuo - HV (10-⁶mbar) Opção não magnética - Sim (- NM)