Os estágios lineares da série SL são ultra-compactos e especificamente concebidos para configurações com restrições de espaço ou requisitos de miniaturização extrema. Mantendo o seu tamanho miniatura, os estágios oferecem intervalos de deslocação comparativamente longos e podem ser combinados para construir sistemas complexos de múltiplos eixos. Os estágios da série SL têm 11 mm de largura e 5,2 mm de altura.
Mecânica
Força de bloqueio [N]≥ 1,6
Força normal máx. Força normal [N]1
Força de elevação máx. Força de elevação [N]0,35
Dimensões [mm]21 x 11 x 5,2
Circuito aberto
Resolução em circuito aberto MCS2 [nm] - < 1
Resolução em circuito aberto (H)CU [nm] - < 50
Opções
Opções de material - Base de aço (-ST) como padrão
Opções de vácuo - HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)
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