Nanoposicionador linear PLF5252-x.200

piezoelétricode 1 eixocompacto

As fases do scanner de nanoposicionamento SMARFLEX utilizam as vantagens das flexões mecânicas acionadas por piezoeléctricos para realizar tarefas de posicionamento altamente precisas até vários 100 μm. O PLF5252-x.200 oferece um alcance de varrimento de mais de 200 μm na direção X. Com 90 g, é muito leve e também bastante compacto, com 52 x 52 x 15 mm. Especificações Alcance de varrimento [µm] - > 200 Força normal máx. Força normal [N] - 5,0 Dimensões [mm] - 52 x 52 x 15 Peso [g] - 90 Material da base Material da base - Titânio (-TI) / Base de alumínio (-Al) - Circuito aberto Resolução em circuito aberto MCS2 [nm] - MCS2: <1 - Circuito fechado Resolução do sensor MCS2 [nm] - MCS2: 1 (S) - Opções Opções de vácuo - HV (10-⁶mbar) Opção não magnética - Sim (- NM)