Nanoposicionador Z PLF3232-z.60

piezoelétricocompactode alumínio

As fases do scanner de nanoposicionamento SMARFLEX utilizam as vantagens das flexões mecânicas acionadas por piezoeléctricos para realizar tarefas de posicionamento altamente precisas até vários 100 μm. O PLF3232-z.60 oferece um alcance de varrimento de mais de 60 μm na direção Z. Com 30 g, é muito leve e também bastante compacto, com 32 x 32 x 15 mm. Especificações Alcance de varrimento [µm] - > 60 Força normal máx. Força normal [N] - 5,0 Dimensões [mm] - 32 x 32 x 15 Peso [g] - 30 Material da base Material da base - Titânio (-TI) / Base de alumínio (-Al) Circuito aberto Resolução em circuito aberto MCS2 [nm] - MCS2: <1 - Circuito fechado Resolução do sensor MCS2 [nm] - MCS2: 1 (S) - Opções Opções de vácuo - HV (10-⁶mbar) Opção não magnética - Sim (- NM)